マニュアル・バタフライバルブ SBVM-AXⅡシリーズ
コストパフォーマンスに優れています
コンダクタンスでの有利性
バタフライバルブはストレート配管であり、面間が超薄型であるため、同じ口径で比較した場合、バタフライバルブは、真空装置用バルブの中で最も配管への取り付け幅が薄いという特徴があります。
この面間の薄さが開口コンダクタンスの値を大きくすることで、効率の良い排気を可能にしています。
手動スロットルバタフライバルブ(SBVM型)
- ウォーム・ウォームホイルを採用し、手動でスロットルハンドルを回すことにより、任意にコンダクタンスが可変でき、排気流量の絞りを手動で簡単に行えます。
また操作は軽く、確実で再現性に優れており手動バルブとして、全開、全閉も出来る便利なバルブです。 - 真空チャンバの圧力を一定に保つ装置では、メイン排気ラインで排気流量コントロールができれば最良であるが、小口径のバイパス配管等やメイン排気ラインへコンダクタンスバルブを入れコントロールすることが必要な場合に、手動で弁開度を任意の位置に固定しコンダクタンスを調整できるコンダクタンスバルブとしての特徴を発揮します。
SBVM-AXⅡシリーズの主な仕様
フランジ形式 | JIS・NW・ISO・CF |
---|---|
リーク量 | 1×10-9Pam3/s以下 |
使用領域 | 105~10-6Pa |
ディスクシール | バイトンOリング |
軸シール | バイトンOリング2段 |
口径 | 25A~250A |
---|---|
接ガス部材質 | SUS304 |
付属品 | 開閉表示機構付 |
オプション | マイクロスイッチ 角度表示板・ハンドルロック |
- SBVM型は、弁体の開度を確認できる、角度表示板(角度メモリ付)及び弁体中間位置を確実に固定できるロック機構付がオプションとして取付できます。(図-1)
- 開閉表示用マイクロスイッチをオプションにて取付できます。(図‐2)
- 特殊仕様品も製作可能ですからご相談下さい。
(図-1)
(図-2)
※本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。
SBVM-JIS AXⅡシリーズ寸法図
単位:mm | ||||||||
型式 | SBVM-1AXⅡ | SBVM-2AXⅡ | SBVM-2.5AXⅡ | SBVM-3AXⅡ | SBVM-4AXⅡ | SBVM-6AXⅡ | SBVM-8AXⅡ | SBVM-10AXⅡ |
商品コード | 10605□□ | 10607□□ | 10608□□ | 10609□□ | 10610□□ | 10611□□ | 10612□□ | 10613□□ |
A | 20 | 20 | 20 | 20 | 20 | 26 | 40 | 40 |
B | 34 | 52 | 68 | 81 | 104 | 158 | 209 | 258 |
C | 58 | 88 | 105 | 120 | 145 | 190 | 250 | 302 |
D | 90 | 120 | 145 | 160 | 185 | 235 | 300 | 350 |
n—E | 4-φ10 | 4-φ10 | 4-φ12 | 4-φ12 | 8-φ12 | 8-φ12 | 8-φ15 | 12-φ15 |
F | 70 | 100 | 120 | 135 | 160 | 210 | 270 | 320 |
G | 33 | 52 | 67 | 80 | 102 | 154 | 206 | 254 |
H | 127.5 | 158 | 183.5 | 201.5 | 227 | 288 | 370 | 436 |
J | 59 | 74 | 86.5 | 101 | 113.5 | 138.5 | 176 | 201 |
K | 43 | 58.5 | 71.5 | 78 | 91 | 116.5 | 148.5 | 173.5 |
L | 157 | 157 | 157 | 178 | 198 | 235 | 294 | 294 |
M | 80 | 80 | 95 | 90 | 130 | 150 | 144 | 144 |
P | 40 | 70 | 85 | 100 | 120 | 175 | 225 | 275 |
Q | 5 | 5 | 5 | 5 | 5 | 5 | 8 | 8 |
R | 20 | 20 | 20 | 27.5 | 27.5 | 35 | 35 | 35 |
S | 16 | 16 | 16 | 16 | 16 | 20 | 25 | 25 |
V | V40 | V70 | V85 | V100 | V120 | V175 | V225 | V275 |
注1. 上記は、JIS B2290 真空装置用フランジ 附属書 保守用フランジに準拠したフランジです。
SBVM-ISO AXⅡシリーズ寸法図
単位:mm | ||||||||
型式 | SBVM- ISO40AXⅡ |
SBVM- ISO50AXⅡ |
SBVM- ISO63AXⅡ |
SBVM- ISO80AXⅡ |
SBVM- ISO100AXⅡ |
SBVM- ISO160AXⅡ |
SBVM- ISO200AXⅡ |
SBVM- ISO250AXⅡ |
商品コード | 10665□□ | 10666□□ | 10667□□ | 10667□□ | 10668□□ | 10670□□ | 10671□□ | 10672□□ |
A | 30 | 30 | 30 | 30 | 30 | 50 | 50 | 50 |
B | 34 | 52 | 68 | 81 | 104 | 158 | 209 | 258 |
C | 100 | 110 | 130 | 145 | 165 | 225 | 285 | 335 |
D | 120 | 120 | 145 | 160 | 185 | 235 | 300 | 350 |
n—E | 4-φ9 | 4-φ9 | 4-φ9 | 8-φ9 | 8-φ9 | 8-φ11 | 12-φ11 | 12-φ11 |
F | 80 | 90 | 110 | 125 | 145 | 200 | 260 | 310 |
G | 23 | 47 | 62 | 76 | 100 | 148 | 203 | 251 |
H | 158 | 158 | 183.5 | 201.5 | 227 | 288 | 370 | 436 |
J | 74 | 74 | 86.5 | 101 | 113.5 | 138.5 | 176 | 201 |
K | 58.5 | 58.5 | 71.5 | 78 | 91 | 116.5 | 148.5 | 173.5 |
L | 157 | 157 | 157 | 178 | 198 | 235 | 294 | 294 |
M | 80 | 80 | 95 | 90 | 130 | 150 | 144 | 144 |
R | 20 | 20 | 20 | 27.5 | 27.5 | 35 | 35 | 35 |
S | 16 | 16 | 16 | 16 | 16 | 20 | 25 | 25 |
注1. 上記は、ISO1609 Vacuum technology-Flange dimensionsに準拠したフランジです。
SBVM-CF AXⅡシリーズ寸法図
単位:mm | ||||||
型式 | SBVM- CF40AXⅡ | SBVM- CF63AXⅡ | SBVM- CF100AXⅡ | SBVM- CF160AXⅡ | SBVM- CF200AXⅡ | SBVM- CF250AXⅡ |
商品コード | 10640□□ | 10642□□ | 10644□□ | 10645□□ | 10647□□ | 10648□□ |
A | 30 | 30 | 30 | 50 | 50 | 50 |
B | 34 | 52 | 104 | 158 | 209 | 258 |
C | 69.4 | 113.5 | 151.6 | 202.4 | 253.2 | 305.0 |
D | 90 | 120 | 185 | 235 | 300 | 350 |
n—E | 6-M6 | 8-M8 | 16-M8 | 20-M8 | 24-M8 | 32-M8 |
F | 58.7 | 92.1 | 130.2 | 181 | 231.8 | 284 |
G | 23 | 47 | 100 | 148 | 203 | 251 |
H | 127.5 | 158 | 227 | 288 | 370 | 436 |
J | 59 | 74 | 113.5 | 138.5 | 176 | 201 |
K | 43 | 58.5 | 91 | 116.5 | 148.5 | 173.5 |
L | 157 | 157 | 198 | 235 | 294 | 294 |
M | 80 | 80 | 130 | 150 | 144 | 144 |
R | 20 | 20 | 27.5 | 35 | 35 | 35 |
S | 16 | 16 | 16 | 20 | 25 | 25 |
注1. 上記は、ISO/TS 3669-2 Vacuum technology-Bakable flanges-Part2:Dimensions of knife-edge flangesに準拠したフランジです。
注2. CF40には、漏れ探し溝はありません。
SBVM-NW AXⅡシリーズ寸法図
単位:mm | |||||
型式 | SBVM-NW40AXⅡ | SBVM-NW50AXⅡ | SBVM-NW63AXⅡ | SBVM-NW80AXⅡ | SBVM-NW100AXⅡ |
商品コード | 10624□□ | 10625□□ | 10626□□ | 10627□□ | 10628□□ |
A | 40 | 40 | 40 | 60 | 60 |
B | 34 | 52 | 68 | 81 | 104 |
D | 55 | 75 | 87 | 114 | 134 |
G | 0 | 36 | 56 | 55 | 84 |
H | 127.5 | 158 | 183.5 | 201.5 | 227 |
J | 59 | 74 | 86.5 | 101 | 113.5 |
K | 43 | 58.5 | 71.5 | 78 | 91 |
L | 157 | 157 | 157 | 178 | 198 |
M | 80 | 80 | 95 | 90 | 130 |
R | 20 | 20 | 20 | 27.5 | 27.5 |
S | 16 | 16 | 16 | 16 | 16 |
注1. 取付は弊社マルチクランプをご使用下さい。弊社以外のクランプをご使用の場合には、クランプの形状によりバルブが取り付かない場合があります。