モータ駆動・コンパクトゲートバルブ MEX-LD-MPシリーズ
当社オリジナルの駆動方式により、コンパクトでコストパフォーマンスに優れたゲートバルブです。
- 低価格 低価格で自動圧力制御ができます。
- 高性能 高性能サーボモータ及び新ドライブ機構を採用
- 高機能 フルクローズ・多段位置制御・自動圧力制御ができます。
モータ位置を選択できます。（3位置）
選べる３つのタイプ
MEX-LD-MP-R
MEX-LD-MP-L
MEX-LD-MP-F
- フルクローズ（全閉）とコンダクタンス調整が１台で出来ます。
- 高精度ギヤヘッドの採用により位置精度の再現性が優れています。
- 全閉・全開の他、最大１４ポジションの任意の位置に停止させることができます。
ポジショニング設定は、ティーチングボックスやパソコンソフトで簡単に行えます。 - 制御用オプション部品を追加することにより、自動圧力制御バルブとしても使用できます。
- 角度インジケータにより外部から弁体の位置が確認できます。
- モータ位置が選択できることで、さまざまなレイアウトへ柔軟に対応可能となり、設置する排気系のスペースを有効活用できます。
- オプションで全閉・全開位置検出用フォトセンサを装備できます。
MEX-LD-MPシリーズの主な仕様
| フランジ形式 | ＪＩＳ・ＩＳＯ・ＣＦ |
|---|---|
| リーク量 | ハウジング １×１０-11 Ｐａ・ｍ3／ｓ 以下 バルブシート １×１０-10 Ｐａ・ｍ3／ｓ 以下 |
| 使用領域 | １０5～１０-6 Ｐａ |
| ステムシール | バイトンＯリング |
| 口径 | ７０～４００（ｍｍ） |
|---|---|
| 電源仕様 | 動力 ＤＣ２４Ｖ（最大 ３．０Ａ ） 制御 ＤＣ２４Ｖ（最大 ０．２Ａ） |
| 制御方式 | ＡＣサーボ方式 |
| 主要材質 | ＳＵＳ３０４ |
※ 特殊仕様品も製作可能ですからご相談ください。
※ 口径によっては取付姿勢が限定されます。詳しくは営業までお問い合わせください。
※本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。
システムの構成
※バルブユニットに含まれるもの（バルブ本体、サーボモータ、サーボアンプ）以外はオプションになります。
※オプション品につきましては、別紙「購入ガイド」にてご確認下さい。
付属サーボアンプ寸法図
標準以外のモータ対応について
標準モータ以外のサーボモータ等、貴社設備使用環境に応じたモータへの変更もご相談させていただきます。
対応例 ：
三菱電機製 ACサーボモータ ＭＲ－Ｊ４シリーズ等
安川電機製 ACサーボモータ Σ-Vシリーズ、Σ-７シリーズ等
MEX-JIS-LD-MP シリーズ寸法図
単位:mm
|
型式 |
MEX-80JIS-LD-MP-( ) |
MEX-100JIS-LD-MP-( ) |
MEX-150JIS-LD-MP-( ) |
MEX-200JIS-LD-MP-( ) |
MEX-250JIS-LD-MP-( ) |
MEX-300JIS-LD-MP-( ) |
MEX-350JIS-LD-MP-( ) |
MEX-400JIS-LD-MP-( ) |
|
口径 |
80 |
100 |
150 |
200 |
250 |
300 |
350 |
400 |
|
商品コード |
16709□□ |
16710□□ |
16711□□ |
16712□□ |
16713□□ |
16714□□ |
16714□□ |
16715□□ |
|
A |
70 |
70 |
80 |
80 |
85 |
85 |
100 |
100 |
|
B |
80 |
100 |
150 |
200 |
250 |
300 |
350 |
400 |
|
D |
160 |
185 |
235 |
300 |
350 |
400 |
450 |
520 |
|
n—E |
4-M10 |
8-M10 |
8-M10 |
8-M12 |
12-M12 |
12-M12 |
12-M12 |
12-M16 |
|
F |
14 |
14 |
14 |
15 |
16 |
16 |
18 |
18 |
|
G |
135 |
160 |
210 |
270 |
320 |
370 |
420 |
480 |
|
H |
314.5 |
314.5 |
401.5 |
541 |
654 |
752 |
916 |
1023 |
|
J |
150 |
150 |
192 |
254 |
305 |
356 |
433 |
483 |
|
L |
245 |
245 |
245 |
262 |
262 |
262 |
289.5 |
289.5 |
|
M |
105 |
105 |
105 |
116 |
120 |
121 |
106 |
107 |
|
Q |
174 |
174 |
174 |
192 |
196 |
197 |
204 |
205 |
|
R |
110 |
110 |
110 |
140 |
140 |
140 |
140 |
140 |
|
T |
180 |
180 |
235 |
308 |
380 |
430 |
512 |
560 |
|
U |
158 |
158 |
210 |
284 |
348 |
402 |
480 |
528 |
|
V |
60 |
60 |
60 |
60 |
72 |
72 |
80 |
82 |
|
W |
79 |
79 |
99 |
135 |
165 |
190 |
231 |
255 |
注1.上記は、旧JIS B2290 真空装置用フランジに準拠したフランジです。
注2.型式の( )内はモータ位置タイプが入ります。（3位置より選択）
注3.口径によっては取付姿勢が限定されます。詳しくは営業までお問い合せください。
注4.バルブ取付用ネジはフランジのネジ深さ以上ネジ込まないように注意してください。
MEX-ISO-LD-MP シリーズ寸法図
単位:mm
|
型式 |
MEX-80ISO- LD-MP-( ) |
MEX-100ISO- LD-MP-( ) |
MEX-150ISO- LD-MP-( ) |
MEX-200ISO- LD-MP-( ) |
MEX-250ISO- LD-MP-( ) |
MEX-300ISO- LD-MP-( ) |
MEX-400ISO- LD-MP-( ) |
|
口径 |
80 |
100 |
150 |
200 |
250 |
300 |
400 |
|
商品コード |
16767□□ |
16768□□ |
16770□□ |
16771□□ |
16772□□ |
16773□□ |
16774□□ |
|
A |
70 |
70 |
80 |
80 |
85 |
85 |
100 |
|
B |
80 |
100 |
150 |
200 |
250 |
300 |
400 |
|
C |
83 |
102 |
153 |
213 |
261 |
318 |
400 |
|
D |
145 |
165 |
225 |
285 |
335 |
425 |
510 |
|
n—E |
8-M8 |
8-M8 |
8-M10 |
12-M10 |
12-M10 |
12-M12 |
16-M12 |
|
F |
14 |
14 |
14 |
15 |
16 |
16 |
18 |
|
G |
125 |
145 |
200 |
260 |
310 |
395 |
480 |
|
H |
314.5 |
314.5 |
401.5 |
541 |
654 |
752 |
1023 |
|
J |
150 |
150 |
192 |
254 |
305 |
356 |
483 |
|
L |
245 |
245 |
245 |
262 |
262 |
262 |
289.5 |
|
M |
105 |
105 |
105 |
116 |
120 |
121 |
107 |
|
Q |
174 |
174 |
174 |
192 |
196 |
197 |
205 |
|
R |
110 |
110 |
110 |
140 |
140 |
140 |
140 |
|
T |
180 |
180 |
235 |
308 |
380 |
430 |
560 |
|
U |
158 |
158 |
210 |
284 |
348 |
402 |
528 |
|
V |
60 |
60 |
60 |
60 |
72 |
72 |
82 |
|
W |
79 |
79 |
99 |
135 |
165 |
190 |
255 |
注1.上記は、ISO 1609 Vacuum technology-Flange dimensionsに準拠したフランジです。
注2.型式の( )内はモータ位置タイプが入ります。（3位置より選択）
注3.口径によっては取付姿勢が限定されます。詳しくは営業までお問い合せください。
注4.バルブ取付用ネジはフランジのネジ深さ以上ネジ込まないように注意してください。
MEX-CF-LD-MP シリーズ寸法図
単位:mm
|
型式 |
MEX-70CF- LD-MP-( ) |
MEX-100CF- LD-MP-( ) |
MEX-150CF- LD-MP-( ) |
MEX-200CF- LD-MP-( ) |
MEX-250CF- LD-MP-( ) |
|
口径 |
70 |
100 |
150 |
200 |
250 |
|
商品コード |
16743□□ |
16744□□ |
16745□□ |
16746□□ |
16747□□ |
|
CFフランジ呼び |
CF114 |
CF152 |
CF203 |
CF253 |
CF305 |
|
A |
70 |
70 |
80 |
80 |
100 |
|
B |
70 |
100 |
150 |
200 |
250 |
|
D |
113.5 |
151.6 |
202.4 |
253.2 |
306 |
|
n—E |
8-M8 |
16-M8 |
20-M8 |
24-M8 |
32-M8 |
|
F |
14 |
14 |
14 |
16 |
23 |
|
G |
92.1 |
130.2 |
181 |
231.8 |
284 |
|
H |
314.5 |
314.5 |
401.5 |
541 |
654 |
|
J |
150 |
150 |
192 |
254 |
305 |
|
L |
245 |
245 |
245 |
262 |
262 |
|
M |
105 |
105 |
105 |
116 |
120 |
|
Q |
174 |
174 |
174 |
192 |
196 |
|
R |
110 |
110 |
110 |
140 |
140 |
|
T |
180 |
180 |
235 |
308 |
380 |
|
U |
158 |
158 |
210 |
284 |
348 |
|
V |
60 |
60 |
60 |
60 |
72 |
|
W |
79 |
79 |
99 |
135 |
165 |
注1.上記は、ISO 3669 Vacuum technology-Bakable flanges-Dimensionsに準拠したフランジです。
注2.型式の( )内はモータ位置タイプが入ります。（3位置より選択）
注3.口径によっては取付姿勢が限定されます。詳しくは営業までお問い合せください。
注4.バルブ取付用ネジはフランジのネジ深さ以上ネジ込まないように注意してください。
MP 共通オプション
１．ＭＯＴ／ＥＮＣ 延長ケーブル（セット）
バルブとサーボアンプを接続するためのケーブルです。型 式 長さ（Ｌ） MOT/ENC延長ケーブル_4122202 (1m) 1m MOT/ENC延長ケーブル_4122204 (2m) 2m MOT/ENC延長ケーブル_4122206 (3m) 3m MOT/ENC延長ケーブル_4122208 (4m) 4m MOT/ENC延長ケーブル_4122210 (5m) 5m MOT/ENC延長ケーブル_4122218 (9m) 9m MOT/ENC延長ケーブル_4122220 (10m) 10m MOT/ENC延長ケーブル_4122230 (15m) 15m MOT/ENC延長ケーブル_4122240 (20m) 20m 
（ MOT ）モータ延長ケーブル
( ENC ) エンコーダ延長ケーブル２．パラレル接続ケーブル
サーボアンプに電源を供給するためのケーブルです。型 式 長さ（Ｌ） パラレル接続ケーブル_4122306 (3m) 3m パラレル接続ケーブル_4122310 (5m) 5m パラレル接続ケーブル_4122320 (10m) 10m 
３．－１ＰＣソフト（セット）
型 式 備 考 TBVST-CTC-JP-SET_4122040 日本語表示 TBVST-CTC-EN-SET_4122041 英語表示 【ＰＣソフト 標準セット付属品】
① ADP-1（変換アダプタ) ② ADP-2-4（コネクタ変換機） ③ SIOケーブル（1m） ④ ADPケーブル（1m）
３．－２ティーチングボックス
型 式 備 考 CTA-23-SET_4122070 デジタル表示 【ティーチングボックス 標準セット付属品】
① ADPケーブル （1m）※ ３．－１及び３．－２共通オプション 標準セット付属ケーブル（１ｍ）で接続長さ不足の場合は、下記 ケーブル長さを選定して下さい。（別売品）
SIOケーブル 型 式 長さ（Ｌ） SIOケーブル_4120606 (3m) 3m SIOケーブル_4120610 (5m) 5m 
ADPケーブル 型 式 長さ（Ｌ） ADPケーブル_4122406 (3m) 3m ADPケーブル_4122410 (5m) 5m ADPケーブル_4122420 (10m) 10m 