モータ駆動バタフライバルブ MBV-SDⅡ-M4-ARJシリーズ
長寿命・低価格・高性能・多彩な開閉動作が可能なバタフライバルブです。
- 長寿命 100万サイクル
- 低価格 低価格で自動圧力制御ができます。
- 高性能 高性能サーボモータ・サーボアンプ・新ドライブ機構を採用
- 高機能 リーケージ仕様 (*注1)・多段位置制御・自動圧力制御ができます。
最小コンダクタンスを可能とする弁Oリング付き締め代O仕様の対応も可能です。 - 最小口径 ２０A NW25サイズより対応可能です。（２０A NW25サイズは全閉シール可能なOリング付き 仕様も対応可能です）
特徴
- ローコスト対応バルブMBV-SDⅡ-M4-ARJシリーズは、弁体Oリングが付いていないコンダクタンス制御専用のモータ駆動バタフライバルブです。
- 弁体の駆動源には汎用性の高い三菱電機製のサーボモータを使用しており、弁体を全閉、全開およびそれ以外の任意のポジションにおいて停止・保持させることができます。
- バルブの開口面積を多段階に変化させることが可能となり、真空容器内の一定圧力保持およびバルブの前後の圧力可変や、排気コンダクタンスの可変など幅広い用途に使用できます。
- 中間停止のポジションは、あらかじめパソコンソフトやサーボアンプ本体で設定し、最大１３ポジションまで記憶させておくことができます。
- ＰＬＣなどの上位システムから信号を送ることにより、設定したポジションに再現性良く停止します。
- オプションのデュアル自動圧力制御システムコントローラをFPCシリーズと組み合わせることにより、自動圧力制御を始め、多彩な制御が可能になります。
MBV-SDⅡ-M4-ARJシリーズの主な仕様
| フランジ形式 | ＪＩＳ・ＩＳＯ・ＣＦ・ＮＷ |
|---|---|
| リーク量 | １×１０-9 Ｐａ・ｍ3／ｓ 以下 |
| 使用領域 | １０5 ～ １０-6 Ｐａ |
| ディスクシール | なし |
| 軸シール | バイトンＯリング２段 |
| 口径 | ２０Ａ ～ １００Ａ |
|---|---|
| 電源仕様 | 主電源 ＡＣ２００Ｖ（定格電流１．５Ａ） 制御電源ＡＣ２００Ｖ（定格電流０．２Ａ） インターフェイス用電源 DC24V（最大500ｍA） |
| 制御方式 | ＡＣサーボ方式 |
| 接ガス部材質 | ＳＵＳ３０４ |
※本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。
システムの構成
※バルブユニットに含まれるもの（バルブ本体、サーボモータ、サーボアンプ）以外はオプションになります。
※オプション品につきましては、別紙「マルチポジション用オプションリスト」にてご確認下さい。
*注）1. リーケージ仕様 (弁体シール機構なし)
付属サーボアンプ寸法図
標準以外のモータ対応について
標準モータ以外のサーボモータ等、貴社設備使用環境に応じたモータへの変更もご相談させていただきます。
*オプションのデュアル圧力制御コントローラを接続することで、APCとしても使用可能です。
MBV-JIS SDⅡ-M4シリーズ寸法図
| 単位:mm | |||||
| 型式 | MBV-1SDⅡ-M4-ARJ | MBV-2SDⅡ-M4-ARJ | MBV-2.5SDⅡ-M4-ARJ | MBV-3SDⅡ-M4-ARJ | MBV-4SDⅡ-M4-ARJ |
| 商品コード | 10805□□ | 10807□□ | 10808□□ | 10809□□ | 10810□□ |
| A | 20 | 20 | 20 | 20 | 20 |
| B | 34 | 52 | 68 | 81 | 104 |
| C | 58 | 88 | 105 | 120 | 145 |
| D | 90 | 120 | 145 | 160 | 185 |
| n—E | 4-φ10 | 4-φ10 | 4-φ12 | 4-φ12 | 8-φ12 |
| F | 70 | 100 | 120 | 135 | 160 |
| G | 33 | 52 | 67 | 80 | 102 |
| H | 222.5 | 253 | 278.5 | 292.5 | 318 |
| J | 102.5 | 117.5 | 130 | 137.5 | 150 |
| K | 43 | 58.5 | 71.5 | 78 | 91 |
| L | 90 | 90 | 90 | 90 | 102 |
| P | 40 | 70 | 85 | 100 | 120 |
| V | V40 | V70 | V85 | V100 | V120 |
注1. 上記は、JIS B2290 真空装置用フランジ 附属書保守用フランジに準拠したフランジです。
MBV-ISO SDⅡ-M4シリーズ寸法図
| 単位:mm | |||||
| 型式 | MBV-ISO40SDⅡ-M4-ARJ | MBV-ISO50SDⅡ-M4-ARJ | MBV-ISO63SDⅡ-M4-ARJ | MBV-ISO80SDⅡ-M4-ARJ | MBV-ISO100SDⅡ-M4-ARJ |
| 商品コード | 10865□□ | 10866□□ | 10867□□ | 10867□□ | 10868□□ |
| A | 30 | 30 | 30 | 30 | 30 |
| B | 34 | 52 | 68 | 81 | 104 |
| C | 100 | 110 | 130 | 145 | 165 |
| D | 120 | 120 | 145 | 160 | 185 |
| n—E | 4-φ9 | 4-φ9 | 4-φ9 | 8-φ9 | 8-φ9 |
| F | 80 | 90 | 110 | 125 | 145 |
| G | 23 | 47 | 62 | 76 | 100 |
| H | 253 | 253 | 278.5 | 292.5 | 318 |
| J | 117.5 | 117.5 | 130 | 137.5 | 150 |
| K | 58.5 | 58.5 | 71.5 | 78 | 91 |
| L | 90 | 90 | 90 | 90 | 102 |
注1. 上記は、ISO1609 Vacuum technology-Flange dimensionsに準拠したフランジです。
MBV-CF SDⅡ-M4シリーズ寸法図
| 単位:mm | ||||
| 型式 | MBV-CF40SDⅡ-M4-ARJ | MBV-CF40SDⅡ-M4-ARJ | MBV-CF63SDⅡ-M4-ARJ | MBV-CF100SDⅡ-M4-ARJ |
| 商品コード | 10840□□ | 10840□□ | 10842□□ | 10844□□ |
| A | 30 | 30 | 30 | 30 |
| B | 23 | 34 | 52 | 104 |
| C | 69.4 | 69.4 | 113.5 | 151.6 |
| D | 80 | 90 | 120 | 185 |
| n—E | 6-M6 | 6-M6 | 8-M8 | 16-M8 |
| F | 58.7 | 58.7 | 92.1 | 130.2 |
| G | 0 | 23 | 47 | 100 |
| H | 212.5 | 222.5 | 253 | 318 |
| J | 97.5 | 102.5 | 117.5 | 150 |
| K | 38 | 43 | 58.5 | 91 |
| L | 90 | 90 | 90 | 102 |
注1. 上記は、ISO/TS3669-2 Vacuum technology-Bakable flanges-Part2：Dimensions of knife-edge flangesに準拠したフランジです。
注2. CF40には、漏れ探し溝はありません。
MBV-NW SDⅡ-M4シリーズ寸法図
| 単位:mm | ||||||
| 型式 | MBV-NW25SDⅡ-M4-ARJ | MBV-NW40SDⅡ-M4-ARJ | MBV-NW50SDⅡ-M4-ARJ | MBV-NW63SDⅡ-M4-ARJ | MBV-NW80SDⅡ-M4-ARJ | MBV-NW100SDⅡ-M4-ARJ |
| 商品コード | 10822□□ | 10824□□ | 10825□□ | 10826□□ | 10827□□ | 10828□□ |
| A | 40 | 40 | 40 | 40 | 60 | 60 |
| B | 23 | 34 | 52 | 68 | 81 | 104 |
| D | 40 | 55 | 75 | 87 | 114 | 134 |
| G | 0 | 0 | 36 | 56 | 55 | 84 |
| H | 212.5 | 222.5 | 253 | 278.5 | 292.5 | 318 |
| J | 97.5 | 102.5 | 117.5 | 130 | 137.5 | 150 |
| K | 38 | 43 | 58.5 | 71.5 | 78 | 91 |
| L | 90 | 90 | 90 | 90 | 90 | 102 |
注1. NW25サイズについては、全閉可能なフルクローズタイプを準備しています。
注2. 取付は弊社マルチクランプをご使用下さい。弊社以外のクランプをご使用の場合には、クランプの形状によりバルブが取り付かない場合があります
M4-ARJ 共通オプション
＊MBV-AD Ⅱ -M4-ARJ/MBV-LD Ⅱ -M4-ARJ/MBV-SD Ⅱ -M4-ARJ共通オプション
サーボアンプにポジションを設定して任意のポジションへバルブ弁体を動作させます。
１．ENCケーブル（負荷引出し／反負荷引出し）（注１）
バルブとサーボアンプを接続するためのケーブルです。形式 長さ（L） ENCケーブル（負荷側）2m_4123500 2m ENCケーブル（負荷側）5m_4123501 5m ENCケーブル（負荷側）10m_4123502 10m ENCケーブル（反負荷側）2m_4123505 2m ENCケーブル（反負荷側）5m_4123506 5m ENCケーブル（反負荷側）10m_4123507 10m 
注1.(負荷引出し／反負荷引出し)２．MOT電源ケーブル（負荷引出し／反負荷引出し）（注１）
バルブとサーボアンプを接続するためのケーブルです。形式 長さ（L） MOTケーブル（負荷側）2m_4123520 2m MOTケーブル（負荷側）5m_4123521 5m MOTケーブル（負荷側）10m_4123522 10m MOTケーブル（反負荷側）2m_4123525 2m MOTケーブル（反負荷側）5m_4123526 5m MOTケーブル（反負荷側）10m_4123527 10m 
*シールドケーブルではありません。３．電磁ブレーキケーブル（負荷引出し／反負荷引出し）（注１）
電磁ブレーキ付サーボモータ用ケーブルです。形式 長さ（L） BLケーブル（負荷側）2m_4123540 2m BLケーブル（負荷側）5m_4123541 5m BLケーブル（負荷側）10m_4123542 10m BLケーブル（反負荷側）2m_4123545 2m BLケーブル（反負荷側）5m_4123546 5m BLケーブル（反負荷側）10m_4123547 10m *シールドケーブルではありません。４．－１REMOTE I／F Mケーブル（CN1用50P）（注２）
サーボアンプへリモート入出力するためのケーブルです。形式 長さ（L） REMOTE I/F Mケーブル_4123340（1m） 1m REMOTE I/F Mケーブル_4123341（2m） 2m REMOTE I/F Mケーブル_4123342（3m） 3m REMOTE I/F Mケーブル_4123343（4m） 4m REMOTE I/F Mケーブル_4123344（5m） 5m 
４．－２REMOTE中継端子台 I／F Mケーブル（CN1用50P）、中継端子台（MR-TB50）（注２）
サーボアンプへリモート入出力するための中継ケーブルおよび端子台です。形式 長さ（L） MR-J2M-CN1 TBL05M_4123350 0.5m MR-J2M-CN1 TBL1M_4123351 1m 中継端子台 MR-TB50_4123352（50P） 
サーボアンプコネクタ 中継端子コネクタ
中継端子台 50P５．サーボ支援ソフトウェア
サーボアンプにポジション設定するためのソフトウェアです。形式 言語 SW1 DNC-MRC2-J_4123560 日本語版 SW1 DNC-MRC2-E_4123561 英語版 
６．通信ケーブル
PCとサーボアンプを接続するためのUSBケーブルです。形式 長さ（L） MR-J3USBCBL3M_4123562 3m 
サーボアンプ mini-Bコネクタ PC Aコネクタ
注２）ＲＥＭＯＴＥ Ｉ／Ｆ Ｍケーブルは、４－１または４－２が必要となります。