モータ駆動バタフライバルブ MBV-SDⅡ-AZ シリーズ

長寿命・低価格・高性能・多彩な開閉動作が可能なバタフライバルブです。

１．長寿命　100万サイクル

２．低価格　　低価格で自動圧力制御ができます。

３．高性能　　高性能ステッピングモーター・ドライバを採用

４．高機能　　リーケージ仕様 注1)・多段位置制御・自動圧力制御ができます。ABZOセンサ搭載により、バッテリレスのアブソリュートシステムを実現

５．最小口径　２０A　NW25サイズより対応可能です。（２０A　NW25サイズは全閉シール可能なOリング付き仕様も対応可能です）

注1）リーケージ仕様：弁体シール機構なし

特徴

• ローコスト対応バルブMBV-SDⅡ-AZシリーズは、弁体Oリングが付いていないコンダクタンス制御専用のモータ駆動バタフライバルブです。
• 弁体の駆動源にはオリエンタルモーター製のステッピングモーターを使用しており、弁体を全閉、全開およびそれ以外の任意のポジションにおいて停止・保持させることができます。
• バルブの開口面積を多段階に変化させることが可能となり、真空容器内の一定圧力保持およびバルブの前後の圧力可変や、排気コンダクタンスの可変など幅広い用途に使用できます。
• 中間停止のポジションは、あらかじめパソコンソフトで設定し、最大１４ポジションまで記憶させておくことができます。
• ＰＬＣなどの上位システムから信号を送ることにより、設定したポジションに再現性良く停止します。
• オプションのデュアル自動圧力制御システムコントローラFPCシリーズと組み合わせることにより、自動圧力制御を始め、多彩な制御が可能になります。