モータ駆動バタフライバルブ MBV-LDⅡ-MPシリーズ
長寿命・低価格・高性能・多彩な開閉動作が可能なバタフライバルブです。
- 長寿命 50万～100万サイクル
- 低価格 低価格で自動圧力制御ができます。
- 高性能 高性能サーボモータ及び新ドライブ機構を採用
- 高機能 フルクローズ・多段位置制御・自動圧力制御ができます。
モータ位置を選択できます。（4位置）
MBV-LD-MP-R
MBV-LD-MP-L
MBV-LD-MP-F
BV-LD-MP-B
特徴
- フルクローズ（全閉）とコンダクタンス調整が１台で出来、最少のコンダクタンス制御も可能です。
- 差圧状態（真空～大気圧）からオープンさせることができます。
- 高精度ギヤヘッドの採用により位置精度の再現性が優れています。
- 全閉・全開の他、最大１４ポジションの任意の位置に停止させることができます。
ポジショニング設定は、ティーチングボックスやパソコンソフトで簡単に行えます。 - 制御用オプション部品を追加することにより、自動圧力制御バルブとしても使用できます。
- 角度インジケータにより外部から弁体の位置が確認できます。
- モータ位置が選択できることで、さまざまなレイアウトへ柔軟に対応可能となり、設置する排気系のスペースを有効活用できます。
- フルクローズ（全閉）位置検出用フォトセンサを標準装備
MBV-LDⅡ-MPシリーズの主な仕様
| フランジ形式 | ＪＩＳ・ＩＳＯ・ＣＦ・ＮＷ |
|---|---|
| リーク量 | １×１０-9 Ｐａ・ｍ3／ｓ 以下 |
| 使用領域 | １０5 ～ １０-6 Ｐａ |
| ディスクシール | バイトンＯリング |
| 軸シール | バイトンＯリング２段 |
| 口径 | ２５Ａ ～ ３００Ａ |
|---|---|
| 電源仕様 | 動力：DC 24V（最大 3.0A） 制御：DC 24V（最大 0.2A） |
| 制御方式 | ACサーボ方式 |
| 接ガス部材質 | ＳＵＳ３０４ |
※ 特殊仕様品も製作可能ですからご相談ください。
※本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。
システムの構成
※バルブユニットに含まれるもの（バルブ本体、サーボモータ、サーボアンプ）以外はオプションになります。
※オプション品につきましては、別紙「購入ガイド」にてご確認下さい。
付属サーボアンプ寸法図
標準以外のモータ対応について
標準モータ以外のサーボモータ等、貴社設備使用環境に応じたモータへの変更もご相談させていただきます。
対応例 ：
三菱電機製 ＡＣサーボモータ ＭＲ－Ｊ３シリーズ、ＭＲ－Ｊ４シリーズ等
安川電機製 ACサーボ Σ-Vシリーズ、Σ-７シリーズ等
MBV-JIS LDⅡ-MPシリーズ寸法図
| 単位:mm | |||||||||
| 型式 | MBV-1LDⅡ- MP-( ) | MBV-2LDⅡ- MP-( ) | MBV-2.5LDⅡ- MP-( ) | MBV-3LDⅡ- MP-( ) | MBV-4LDⅡ- MP-( ) | MBV-6LDⅡ- MP-( ) | MBV-8LDⅡ- MP-( ) | MBV-10LDⅡ- MP-( ) | MBV-12LDⅡ- MP-( ) |
| 商品コード | 10705□□ | 10707□□ | 10708□□ | 10709□□ | 10710□□ | 10711□□ | 10712□□ | 10713□□ | 10714□□ |
| A | 20 | 20 | 20 | 20 | 20 | 26 | 40 | 40 | 45 |
| B | 34 | 52 | 68 | 81 | 104 | 158 | 209 | 258 | 308 |
| C | 58 | 88 | 105 | 120 | 145 | 190 | 250 | 302 | 352 |
| D | 90 | 120 | 145 | 160 | 185 | 235 | 300 | 350 | 400 |
| n—E | 4-φ10 | 4-φ10 | 4-φ12 | 4-φ12 | 8-φ12 | 8-φ12 | 8-φ15 | 12-φ15 | 12-φ15 |
| F | 70 | 100 | 120 | 135 | 160 | 210 | 270 | 320 | 370 |
| G | 33 | 52 | 67 | 80 | 102 | 154 | 206 | 254 | 303 |
| H | 228.5 | 259 | 284.5 | 298.5 | 324 | 388 | 455 | 505 | 555 |
| J | 115.5 | 130.5 | 143 | 150.5 | 163 | 194 | 229 | 254 | 279 |
| K | 43 | 58.5 | 71.5 | 78 | 91 | 116.5 | 148.5 | 173.5 | 198.5 |
| L | 55 | 55 | 49 | 49 | 55 | 70 | 85 | 85 | 85 |
| M | 245 | 245 | 246 | 246 | 246.5 | 264 | 292 | 292.5 | 292.5 |
| P | 40 | 70 | 85 | 100 | 120 | 175 | 225 | 275 | 325 |
| Q | 5 | 5 | 5 | 5 | 5 | 5 | 8 | 8 | 8 |
| R | 100 | 100 | 100 | 100 | 100 | 110 | 110 | 110 | 110 |
| S | – | – | – | – | – | – | 22 | 22 | 22 |
| V | V40 | V70 | V85 | V100 | V120 | V175 | V225 | V275 | V325 |
注1. 上記は、JIS B2290 真空装置用フランジ 附属書保守用フランジに準拠したフランジです。
注2. 型式の( )内はモータ位置タイプが入ります。（４位置より選択）
MBV-ISO LDⅡ-MPシリーズ 寸法図
| 単位:mm | ||||||||
| 型式 | MBV- ISO40LDⅡ- MP-( ) | MBV- ISO50LDⅡ- MP-( ) | MBV- ISO63LDⅡ- MP-( ) | MBV- ISO80LDⅡ- MP-( ) | MBV- ISO100LDⅡ- MP-( ) | MBV- ISO160LDⅡ- MP-( ) | MBV- ISO200LDⅡ- MP-( ) | MBV- ISO250LDⅡ- MP-( ) |
| 商品コード | 10765□□ | 10766□□ | 10767□□ | 10767□□ | 10768□□ | 10770□□ | 10771□□ | 10772□□ |
| A | 30 | 30 | 30 | 30 | 30 | 50 | 50 | 50 |
| B | 34 | 52 | 68 | 81 | 104 | 158 | 209 | 258 |
| C | 100 | 110 | 130 | 145 | 165 | 225 | 285 | 335 |
| D | 120 | 120 | 145 | 160 | 185 | 235 | 300 | 350 |
| n—E | 4-φ9 | 4-φ9 | 4-φ9 | 8-φ9 | 8-φ9 | 8-φ11 | 12-φ11 | 12-φ11 |
| F | 80 | 90 | 110 | 125 | 145 | 200 | 260 | 310 |
| G | 23 | 47 | 62 | 76 | 100 | 148 | 203 | 251 |
| H | 259 | 259 | 284.5 | 298.5 | 324 | 388 | 455 | 505 |
| J | 130.5 | 130.5 | 143 | 150.5 | 163 | 194 | 229 | 254 |
| K | 58.5 | 58.5 | 71.5 | 78 | 91 | 116.5 | 148.5 | 173.5 |
| L | 55 | 55 | 49 | 49 | 55 | 70 | 85 | 85 |
| M | 245 | 245 | 246 | 246 | 246.5 | 264 | 292 | 292.5 |
| R | 100 | 100 | 100 | 100 | 100 | 110 | 110 | 110 |
| S | – | – | – | – | – | – | 22 | 22 |
注1. 上記は、ISO1609Vacuum technology-Flange dimensionsに準拠したフランジです。
注2. 型式の( )内はモータ位置タイプが入ります。（４位置より選択）
MBV-CF LDⅡ-MPシリーズ 寸法図
| 単位:mm | ||||||
| 型式 | MBV- CF40LDⅡ- MP-( ) | MBV- CF63LDⅡ- MP-( ) | MBV- CF100LDⅡ- MP-( ) | MBV- CF160LDⅡ- MP-( ) | MBV- CF200LDⅡ- MP-( ) | MBV- CF250LDⅡ- MP-( ) |
| 商品コード | 10740□□ | 10742□□ | 10744□□ | 10745□□ | 10747□□ | 10748□□ |
| A | 30 | 30 | 30 | 50 | 50 | 50 |
| B | 34 | 52 | 104 | 158 | 209 | 258 |
| C | 69.4 | 113.5 | 151.6 | 202.4 | 253.2 | 305.0 |
| D | 90 | 120 | 185 | 235 | 300 | 350 |
| n—E | 6-M6 | 8-M8 | 16-M8 | 20-M8 | 24-M8 | 32-M8 |
| F | 58.7 | 92.1 | 130.2 | 181 | 231.8 | 284 |
| G | 23 | 47 | 100 | 148 | 203 | 251 |
| H | 228.5 | 259 | 324 | 388 | 455 | 505 |
| J | 115.5 | 130.5 | 163 | 194 | 229 | 254 |
| K | 43 | 58.5 | 91 | 116.5 | 148.5 | 173.5 |
| L | 55 | 55 | 55 | 70 | 85 | 85 |
| M | 245 | 245 | 246.5 | 264 | 292 | 292.5 |
| R | 100 | 100 | 100 | 110 | 110 | 110 |
| S | – | – | – | – | 22 | 22 |
注1. 上記は、ISO/TS3669-2 Vacuum technology-Bakable flanges-Part2：Dimensions of knife-edge flangesに準拠したフランジです。
注2. 型式の( )内はモータ位置タイプが入ります。（４位置より選択）
注3. CF40には、漏れ探し溝はありません。
MBV- NWLDⅡ- MPシリーズ 寸法図
| 単位:mm | ||||||
| 型式 | MBV- NW40LDⅡ- MP-( ) | MBV- NW50LDⅡ- MP-( ) | MBV- NW63LDⅡ- MP-( ) | MBV- NW80LDⅡ- MP-( ) | MBV- NW100LDⅡ- MP-( ) | MBV- NW160LDⅡ- MP-( ) |
| 商品コード | 10724□□ | 10725□□ | 10726□□ | 10727□□ | 10728□□ | 10730□□ |
| A | 40 | 40 | 40 | 60 | 60 | 66 |
| B | 34 | 52 | 68 | 81 | 104 | 158 |
| D | 55 | 75 | 87 | 114 | 134 | 190 |
| G | 0 | 36 | 56 | 55 | 84 | 140 |
| H | 228.5 | 259 | 284.5 | 298.5 | 324 | 388 |
| J | 115.5 | 130.5 | 143 | 150.5 | 163 | 194 |
| K | 43 | 58.5 | 71.5 | 78 | 91 | 116.5 |
| L | 55 | 55 | 49 | 49 | 55 | 70 |
| M | 245 | 245 | 246 | 246 | 246.5 | 264 |
| R | 100 | 100 | 100 | 100 | 100 | 110 |
注1. 取付は弊社マルチクランプをご使用下さい。弊社以外のクランプをご使用の場合には、クランプの形状によりバルブが取り付かない場合があります。
注2. 型式の( )内はモータ位置タイプが入ります。（４位置より選択）
MP 共通オプション
１．ＭＯＴ／ＥＮＣ 延長ケーブル（セット）
バルブとサーボアンプを接続するためのケーブルです。型 式 長さ（Ｌ） MOT/ENC延長ケーブル_4122202 (1m) 1m MOT/ENC延長ケーブル_4122204 (2m) 2m MOT/ENC延長ケーブル_4122206 (3m) 3m MOT/ENC延長ケーブル_4122208 (4m) 4m MOT/ENC延長ケーブル_4122210 (5m) 5m MOT/ENC延長ケーブル_4122218 (9m) 9m MOT/ENC延長ケーブル_4122220 (10m) 10m MOT/ENC延長ケーブル_4122230 (15m) 15m MOT/ENC延長ケーブル_4122240 (20m) 20m 
（ MOT ）モータ延長ケーブル
( ENC ) エンコーダ延長ケーブル２．パラレル接続ケーブル
サーボアンプに電源を供給するためのケーブルです。型 式 長さ（Ｌ） パラレル接続ケーブル_4122306 (3m) 3m パラレル接続ケーブル_4122310 (5m) 5m パラレル接続ケーブル_4122320 (10m) 10m 
３．－１ＰＣソフト（セット）
型 式 備 考 TBVST-CTC-JP-SET_4122040 日本語表示 TBVST-CTC-EN-SET_4122041 英語表示 【ＰＣソフト 標準セット付属品】
① ADP-1（変換アダプタ) ② ADP-2-4（コネクタ変換機） ③ SIOケーブル（1m） ④ ADPケーブル（1m）
３．－２ティーチングボックス
型 式 備 考 CTA-23-SET_4122070 デジタル表示 【ティーチングボックス 標準セット付属品】
① ADPケーブル （1m）※ ３．－１及び３．－２共通オプション 標準セット付属ケーブル（１ｍ）で接続長さ不足の場合は、下記 ケーブル長さを選定して下さい。（別売品）
SIOケーブル 型 式 長さ（Ｌ） SIOケーブル_4120606 (3m) 3m SIOケーブル_4120610 (5m) 5m 
ADPケーブル 型 式 長さ（Ｌ） ADPケーブル_4122406 (3m) 3m ADPケーブル_4122410 (5m) 5m ADPケーブル_4122420 (10m) 10m 