モータ駆動バタフライバルブ MBV-LDⅡ-AZシリーズ
長寿命・低価格・高性能・多彩な開閉動作が可能なバタフライバルブです。
| １．長寿命 | 100万サイクル |
|---|---|
| ２．低価格 | 低価格で自動圧力制御ができます。 |
| ３．高性能 | 高性能ステッピングモーター・ドライバを採用 |
| ４．高機能 | フルクローズ・多段位置制御・自動圧力制御ができます。 ABZOセンサ搭載により、バッテリレスのアブソリュートシステムを実現 モータ位置を選択できます。（4位置） |
選べる4つのタイプ
MBV-LDⅡ-AZ-R
MBV-LDⅡ-AZ-L
MBV-LDⅡ-AZ-F
MBV-LDⅡ-AZ-B
特徴
- フルクローズ（全閉）とコンダクタンス調整が１台ででき、最少のコンダクタンス制御も可能です。
- 差圧状態（真空－大気圧）からオープンさせることができます。
- 高精度ギヤヘッドの採用により位置精度の再現性が優れています。
- 全閉・全開の他、最大１４ポジションの任意の位置に停止させることができます。ポジション設定は、サポートソフトをパソコンにインストールして簡単に行えます。
- 制御用オプションのデュアル自動圧力制御システムコントローラを追加することにより、自動圧力制御バルブとしても使用できます。
- 角度インジケータにより外部から弁体の位置が確認できます。
- モータ位置が選択できることで、さまざまなレイアウトへ柔軟に対応可能となり、設置する排気系のスペースを有効活用できます。
- フルクローズ（全閉）位置検出用フォトセンサを標準装備。
- オプションでブレーキ付モータ仕様も対応可能です。
MBV-LDⅡ-AZシリーズ 主な仕様
| フランジ形式 | ＪＩＳ・ＩＳＯ・ＣＦ・ＮＷ |
|---|---|
| リーク量 | １×１０-9 Ｐａ・ｍ3／ｓ 以下 |
| 使用領域 | １０5 ～ １０-6 Ｐａ |
| ディスクシール | バイトンＯリング |
| 軸シール | バイトンＯリング２段 |
| 接ガス部材質 | ＳＵＳ３０４ |
| 口径 | ２０Ａ ～ ３００Ａ※1 |
|---|---|
| 制御方式 | ハイブリッド制御システムαSTEP ※2 |
| 電源仕様 | DC電源 DC24V/DC48V 3.45A（3.7A）※4 AC電源 ※3 単相AC100-120V 5.4A 単相AC200-240V 3.3A 三相AC200-240V 2.0A |
・ 特殊仕様品も製作可能ですからご相談ください。
※1 口径１５０Ａ以上は、ＤＣ電源には対応していません。ＡＣ電源だけになります。
※2 ハイブリッド制御システムαSTEP：“オープンループ制御”と“クローズドループ制御”の利点をハイブリッドした、オリエンタルモーター社の独自制御。
※3 AC電源仕様のドライバには制御回路用電源として、別途DC24V 0.25A（0.5A）※4が必要です。
※4 （ ）内は、ブレーキ付モータを使用した時の電流値です。
※本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。
バルブ型式
◆標準モータ仕様
・MBV-□LDⅡ-AZ-△-KD 電源入力：DC24V/DC48V
・MBV-□LDⅡ-AZ-△-AD 電源入力：AC単相100-120V
・MBV-□LDⅡ-AZ-△-CD 電源入力：AC単相/三相200-240V
◆ブレーキ付モータ仕様
・MBV-□LDⅡ-AZBr-△-KD 電源入力：DC24V/DC48V
・MBV-□LDⅡ-AZBr-△-AD 電源入力：AC単相100-120V
・MBV-□LDⅡ-AZBr-△-CD 電源入力：AC単相/三相200-240V
□：フランジ種類 および 口径 △：モータ位置（R・L・F・B）
システムの構成
※バルブユニットに含まれるもの（バルブ本体、モータ、ドライバ）以外はオプションになります。
付属ドライバ寸法図
MBV-JIS LDⅡ-AZシリーズ寸法図
| 単位:mm | |||||||||
| 型式 | MBV-1LDⅡ-AZ-□□ | MBV-2LDⅡ-AZ-□□ | MBV-2.5LDⅡ-AZ-□□ | MBV-3LDⅡ-AZ-□□ | MBV-4LDⅡ-AZ-□□ | MBV-6LDⅡ-AZ-□□ | MBV-8LDⅡ-AZ-□□ | MBV-10LDⅡ-AZ-□□ | MBV-12LDⅡ-AZ-□□ |
| 商品コード | 10705□□ | 10707□□ | 10708□□ | 10709□□ | 10710□□ | 10711□□ | 10712□□ | 10713□□ | 10714□□ |
| A | 20 | 20 | 20 | 20 | 20 | 26 | 40 | 40 | 45 |
| B | 34 | 52 | 68 | 81 | 104 | 158 | 209 | 258 | 308 |
| C | 58 | 88 | 105 | 120 | 145 | 190 | 250 | 302 | 352 |
| D | 90 | 120 | 145 | 160 | 185 | 235 | 300 | 350 | 400 |
| n—E | 4-φ10 | 4-φ10 | 4-φ12 | 4-φ12 | 8-φ12 | 8-φ12 | 8-φ15 | 12-φ15 | 12-φ15 |
| F | 70 | 100 | 120 | 135 | 160 | 210 | 270 | 320 | 370 |
| G | 33 | 52 | 67 | 80 | 102 | 154 | 206 | 254 | 303 |
| H | 228.5 | 259 | 284.5 | 298.5 | 324 | 388 | 455 | 505 | 555 |
| J | 115.5 | 130.5 | 143 | 150.5 | 163 | 194 | 229 | 254 | 279 |
| K | 43 | 58.5 | 71.5 | 78 | 91 | 116.5 | 148.5 | 173.5 | 198.5 |
| L | 55 | 55 | 49 | 49 | 55 | 70 | 85 | 85 | 85 |
| M | 271.5 | 271.5 | 272.5 | 272.5 | 273 | 290.5 | 291 | 291.5 | 291.5 |
| P | 40 | 70 | 85 | 100 | 120 | 175 | 225 | 275 | 325 |
| Q | 5 | 5 | 5 | 5 | 5 | 5 | 8 | 8 | 8 |
| R | 100 | 100 | 100 | 100 | 100 | 110 | 110 | 110 | 110 |
| V | V40 | V70 | V85 | V100 | V120 | V175 | V225 | V275 | V325 |
注1. 上記は、JIS B2290 真空装置用フランジ 附属書保守用フランジに準拠したフランジです。
注2. 型式の( )内はモータ位置タイプが入ります。（４位置より選択）
注3. MBV-6~12LDⅡは、DC電源には対応していません。
MBV-ISO LDⅡ-AZシリーズ寸法図
| 単位:mm | ||||||||
| 型式 | MBV-ISO40LDⅡ-AZ-□□ | MBV-ISO50LDⅡ-AZ-□□ | MBV-ISO63LDⅡ-AZ-□□ | MBV-ISO80LDⅡ-AZ-□□ | MBV-ISO100LDⅡ-AZ-□□ | MBV-ISO160LDⅡ-AZ-□□ | MBV-ISO200LDⅡ-AZ-□□ | MBV-ISO250LDⅡ-AZ-□□ |
| 商品コード | 10765□□ | 10766□□ | 10767□□ | 10767□□ | 10768□□ | 10770□□ | 10771□□ | 10772□□ |
| A | 30 | 30 | 30 | 30 | 30 | 50 | 50 | 50 |
| B | 34 | 52 | 68 | 81 | 104 | 158 | 209 | 258 |
| C | 100 | 110 | 130 | 145 | 165 | 225 | 285 | 335 |
| D | 120 | 120 | 145 | 160 | 185 | 235 | 300 | 350 |
| n—E | 4-φ9 | 4-φ9 | 4-φ9 | 8-φ9 | 8-φ9 | 8-φ11 | 12-φ11 | 12-φ11 |
| F | 80 | 90 | 110 | 125 | 145 | 200 | 260 | 310 |
| G | 23 | 47 | 62 | 76 | 100 | 148 | 203 | 251 |
| H | 259 | 259 | 284.5 | 298.5 | 324 | 388 | 455 | 505 |
| J | 130.5 | 130.5 | 143 | 150.5 | 163 | 194 | 229 | 254 |
| K | 58.5 | 58.5 | 71.5 | 78 | 91 | 116.5 | 148.5 | 173.5 |
| L | 55 | 55 | 49 | 49 | 55 | 70 | 85 | 85 |
| M | 271.5 | 271.5 | 272.5 | 272.5 | 273 | 290.5 | 291 | 291.5 |
| R | 100 | 100 | 100 | 100 | 100 | 110 | 110 | 110 |
注1. 上記は、ISO1609Vacuum technology-Flange dimensionsに準拠したフランジです。
注2. 型式の( )内はモータ位置タイプが入ります。（４位置より選択）
注3. MBV-ISO160~250LDⅡは、DC電源には対応していません。
MBV-CF LDⅡ-AZシリーズ寸法図
| 単位:mm | ||||||
| 型式 | MBV-CF40LDⅡ-AZ-□□ | MBV-CF63LDⅡ-AZ-□□ | MBV-CF100LDⅡ-AZ-□□ | MBV-CF160LDⅡ-AZ-□□ | MBV-CF200LDⅡ-AZ-□□ | MBV-CF250LDⅡ-AZ-□□ |
| 商品コード | 10740□□ | 10742□□ | 10744□□ | 10745□□ | 10747□□ | 10748□□ |
| A | 30 | 30 | 30 | 50 | 50 | 50 |
| B | 34 | 52 | 104 | 158 | 209 | 258 |
| C | 69.4 | 113.5 | 151.6 | 202.4 | 253.2 | 305.0 |
| D | 90 | 120 | 185 | 235 | 300 | 350 |
| n—E | 6-M6 | 8-M8 | 16-M8 | 20-M8 | 24-M8 | 32-M8 |
| F | 58.7 | 92.1 | 130.2 | 181 | 231.8 | 284 |
| G | 23 | 47 | 100 | 148 | 203 | 251 |
| H | 228.5 | 259 | 324 | 388 | 455 | 505 |
| J | 115.5 | 130.5 | 163 | 194 | 229 | 254 |
| K | 43 | 58.5 | 91 | 116.5 | 148.5 | 173.5 |
| L | 55 | 55 | 55 | 70 | 85 | 85 |
| M | 271.5 | 271.5 | 273 | 290.5 | 291 | 291.5 |
| R | 100 | 100 | 100 | 110 | 110 | 110 |
注1. 上記は、ISO/TS3669-2 Vacuum technology-Bakable flanges-Part2：Dimensions of knife-edge flangesに準拠したフランジです。
注2. 型式の( )内はモータ位置タイプが入ります。（４位置より選択）
注3. CF40には、漏れ探し溝はありません。
注4. MBV-CF160~CF250LDⅡは、DC電源には対応していません。
MBV-NW LDⅡ-AZシリーズ寸法図
| 単位:mm | ||||||
| 型式 | MBV-NW40LDⅡ-AZ-□□ | MBV-NW50LDⅡ-AZ-□□ | MBV-NW63LDⅡ-AZ-□□ | MBV-NW80LDⅡ-AZ-□□ | MBV-NW100LDⅡ-AZ-□□ | MBV-NW160LDⅡ-AZ-□□ |
| 商品コード | 10724□□ | 10725□□ | 10726□□ | 10727□□ | 10728□□ | 10730□□ |
| A | 40 | 40 | 40 | 60 | 60 | 66 |
| B | 34 | 52 | 68 | 81 | 104 | 158 |
| D | 55 | 75 | 87 | 114 | 134 | 190 |
| G | 0 | 36 | 56 | 55 | 84 | 140 |
| H | 228.5 | 259 | 284.5 | 298.5 | 324 | 388 |
| J | 115.5 | 130.5 | 143 | 150.5 | 163 | 194 |
| K | 43 | 58.5 | 71.5 | 78 | 91 | 116.5 |
| L | 55 | 55 | 49 | 49 | 55 | 70 |
| M | 271.5 | 271.5 | 272.5 | 272.5 | 273 | 290.5 |
| R | 100 | 100 | 100 | 100 | 100 | 110 |
注1. 取付は弊社マルチクランプをご使用下さい。弊社以外のクランプをご使用の場合には、クランプの形状によりバルブが取り付かない場合があります。
注2. 型式の( )内はモータ位置タイプが入ります。（４位置より選択）
注3. MBV-NW160LDⅡは、DC電源には対応していません。
MBV-JIS LDⅡ-AZBrシリーズ寸法図
| 単位:mm | |||||||||
| 型式 | MBV-1LDⅡ-AZBr-□□ | MBV-2LDⅡ-AZBr-□□ | MBV-2.5LDⅡ-AZBr-□□ | MBV-3LDⅡ-AZBr-□□ | MBV-4LDⅡ-AZBr-□□ | MBV-6LDⅡ-AZBr-□□ | MBV-8LDⅡ-AZBr-□□ | MBV-10LDⅡ-AZBr-□□ | MBV-12LDⅡ-AZBr-□□ |
| 商品コード | 10705□□ | 10707□□ | 10708□□ | 10709□□ | 10710□□ | 10711□□ | 10712□□ | 10713□□ | 10714□□ |
| A | 20 | 20 | 20 | 20 | 20 | 26 | 40 | 40 | 45 |
| B | 34 | 52 | 68 | 81 | 104 | 158 | 209 | 258 | 308 |
| C | 58 | 88 | 105 | 120 | 145 | 190 | 250 | 302 | 352 |
| D | 90 | 120 | 145 | 160 | 185 | 235 | 300 | 350 | 400 |
| n—E | 4-φ10 | 4-φ10 | 4-φ12 | 4-φ12 | 8-φ12 | 8-φ12 | 8-φ15 | 12-φ15 | 12-φ15 |
| F | 70 | 100 | 120 | 135 | 160 | 210 | 270 | 320 | 370 |
| G | 33 | 52 | 67 | 80 | 102 | 154 | 206 | 254 | 303 |
| H | 228.5 | 259 | 284.5 | 298.5 | 324 | 388 | 455 | 505 | 555 |
| J | 115.5 | 130.5 | 143 | 150.5 | 163 | 194 | 229 | 254 | 279 |
| K | 43 | 58.5 | 71.5 | 78 | 91 | 116.5 | 148.5 | 173.5 | 198.5 |
| L | 55 | 55 | 49 | 49 | 55 | 70 | 85 | 85 | 85 |
| M | 317.5 | 317.5 | 318.5 | 318.5 | 319 | 336.5 | 337 | 337.5 | 337.5 |
| P | 40 | 70 | 85 | 100 | 120 | 175 | 225 | 275 | 325 |
| Q | 5 | 5 | 5 | 5 | 5 | 5 | 8 | 8 | 8 |
| R | 100 | 100 | 100 | 100 | 100 | 110 | 110 | 110 | 110 |
| V | V40 | V70 | V85 | V100 | V120 | V175 | V225 | V275 | V325 |
注1. 上記は、JIS B2290 真空装置用フランジ 附属書保守用フランジに準拠したフランジです。
注2. 型式の( )内はモータ位置タイプが入ります。（４位置より選択）
注3. MBV-6~12LDⅡは、DC電源には対応していません
MBV-ISO LDⅡ-AZBrシリーズ寸法図
| 単位:mm | ||||||||
| 型式 | MBV-ISO40LDⅡ-AZBr-□□ | MBV-ISO50LDⅡ-AZBr-□□ | MBV-ISO63LDⅡ-AZBr-□□ | MBV-ISO80LDⅡ-AZBr-□□ | MBV-ISO100LDⅡ-AZBr-□□ | MBV-ISO160LDⅡ-AZBr-□□ | MBV-ISO200LDⅡ-AZBr-□□ | MBV-ISO250LDⅡ-AZBr-□□ |
| 商品コード | 10765□□ | 10766□□ | 10767□□ | 10767□□ | 10768□□ | 10770□□ | 10771□□ | 10772□□ |
| A | 30 | 30 | 30 | 30 | 30 | 50 | 50 | 50 |
| B | 34 | 52 | 68 | 81 | 104 | 158 | 209 | 258 |
| C | 100 | 110 | 130 | 145 | 165 | 225 | 285 | 335 |
| D | 120 | 120 | 145 | 160 | 185 | 235 | 300 | 350 |
| n—E | 4-φ9 | 4-φ9 | 4-φ9 | 8-φ9 | 8-φ9 | 8-φ11 | 12-φ11 | 12-φ11 |
| F | 80 | 90 | 110 | 125 | 145 | 200 | 260 | 310 |
| G | 23 | 47 | 62 | 76 | 100 | 148 | 203 | 251 |
| H | 259 | 259 | 284.5 | 298.5 | 324 | 388 | 455 | 505 |
| J | 130.5 | 130.5 | 143 | 150.5 | 163 | 194 | 229 | 254 |
| K | 58.5 | 58.5 | 71.5 | 78 | 91 | 116.5 | 148.5 | 173.5 |
| L | 55 | 55 | 49 | 49 | 55 | 70 | 85 | 85 |
| M | 317.5 | 317.5 | 318.5 | 318.5 | 319 | 336.5 | 337 | 337.5 |
| R | 100 | 100 | 100 | 100 | 100 | 110 | 110 | 110 |
注1. 上記は、ISO1609Vacuum technology-Flange dimensionsに準拠したフランジです。
注2. 型式の( )内はモータ位置タイプが入ります。（４位置より選択）
注3. MBV-ISO160~250LDⅡは、DC電源には対応していません。
MBV-CF LDⅡ-AZBrシリーズ寸法図
| 単位:mm | ||||||
| 型式 | MBV-CF40LDⅡ-AZBr-□□ | MBV-CF63LDⅡ-AZBr-□□ | MBV-CF100LDⅡ-AZBr-□□ | MBV-CF160LDⅡ-AZBr-□□ | MBV-CF200LDⅡ-AZBr-□□ | MBV-CF250LDⅡ-AZBr-□□ |
| 商品コード | 10740□□ | 10742□□ | 10744□□ | 10745□□ | 10747□□ | 10748□□ |
| A | 30 | 30 | 30 | 50 | 50 | 50 |
| B | 34 | 52 | 104 | 158 | 209 | 258 |
| C | 69.4 | 113.5 | 151.6 | 202.4 | 253.2 | 305.0 |
| D | 90 | 120 | 185 | 235 | 300 | 350 |
| n—E | 6-M6 | 8-M8 | 16-M8 | 20-M8 | 24-M8 | 32-M8 |
| F | 58.7 | 92.1 | 130.2 | 181 | 231.8 | 284 |
| G | 23 | 47 | 100 | 148 | 203 | 251 |
| H | 228.5 | 259 | 324 | 388 | 455 | 505 |
| J | 115.5 | 130.5 | 163 | 194 | 229 | 254 |
| K | 43 | 58.5 | 91 | 116.5 | 148.5 | 173.5 |
| L | 55 | 55 | 55 | 70 | 85 | 85 |
| M | 317.5 | 317.5 | 319 | 336.5 | 337 | 337.5 |
| R | 100 | 100 | 100 | 110 | 110 | 110 |
注1. 上記は、ISO/TS3669-2 Vacuum technology-Bakable flanges-Part2：Dimensions of knife-edge flangesに準拠したフランジです。
注2. 型式の( )内はモータ位置タイプが入ります。（４位置より選択）
注3. CF40には、漏れ探し溝はありません。
注4. MBV-CF160~CF250LDⅡは、DC電源には対応していません。
MBV-NW LDⅡ-AZBrシリーズ寸法図
| 単位:mm | ||||||
| 型式 | MBV-NW40LDⅡ-AZBr-□□ | MBV-NW50LDⅡ-AZBr-□□ | MBV-NW63LDⅡ-AZBr-□□ | MBV-NW80LDⅡ-AZBr-□□ | MBV-NW100LDⅡ-AZBr-□□ | MBV-NW160LDⅡ-AZBr-□□ |
| 商品コード | 10724□□ | 10725□□ | 10726□□ | 10727□□ | 10728□□ | 10730□□ |
| A | 40 | 40 | 40 | 60 | 60 | 66 |
| B | 34 | 52 | 68 | 81 | 104 | 158 |
| D | 55 | 75 | 87 | 114 | 134 | 190 |
| G | 0 | 36 | 56 | 55 | 84 | 140 |
| H | 228.5 | 259 | 284.5 | 298.5 | 324 | 388 |
| J | 115.5 | 130.5 | 143 | 150.5 | 163 | 194 |
| K | 43 | 58.5 | 71.5 | 78 | 91 | 116.5 |
| L | 55 | 55 | 49 | 49 | 55 | 70 |
| M | 317.5 | 317.5 | 318.5 | 318.5 | 319 | 336.5 |
| R | 100 | 100 | 100 | 100 | 100 | 110 |
注1. 取付は弊社マルチクランプをご使用下さい。弊社以外のクランプをご使用の場合には、クランプの形状によりバルブが取り付かない場合があります。
注2. 型式の( )内はモータ位置タイプが入ります。（４位置より選択）
注3. MBV-NW160LDⅡは、DC電源には対応していません。