３ポジション・ニューマチック・コンパクトゲートバルブ EX-AXONシリーズ
当社オリジナルの駆動方式により、コンパクトでコストパフォーマンスに優れております。
- １台で２台分の働きをします。
・ １台のバルブでメイン排気と、コンダクタンス排気が可能です。
・ 弁開度を任意に設定できるサブシリンダーが付いています。 - ダブルシリンダー方式を採用し、よりコンパクト・軽量化されました。さらにエアークッション効果により開閉はスムーズです。
- 独特のゲート機構は逆圧にも耐え、面間は超薄型です。（カムスプリングは使用していません。）
- クリーンルーム内で組立、検査しています。
- 価格は、よりお求めやすくなりました。
EX-AXONシリーズの主な仕様
| 標準フランジ | ＪＩＳ・ＩＳＯ・ＣＦ |
|---|---|
| 口径 | ７０～７５０（ｍｍ） |
| リーク量 | ハウジング １×１０-11 Ｐａ ｍ3／ｓ 以下 バルブシート １×１０-10 Ｐａ ｍ3／ｓ 以下 |
| 使用領域 | １０5～１０-6 Ｐａ |
| 主要材質 | ＳＵＳ３０４ |
| ステムシール | バイトンＯリング |
|---|---|
| 駆動方式 | ニューマチック |
| 作動空気圧 | ０．４～０．６ＭＰａ Ｇ |
| 開閉表示 | マイクロスイッチ付き （開／閉 各位置検出用） |
※特殊仕様品も製作可能ですからご相談ください。
※口径によっては取付姿勢が限定されます。詳しくは営業までお問い合わせください。
※本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。
EX-JIS-XON シリーズ寸法図
| 単位:mm | ||||||||||||
| 形式 | EX-80JIS-XON | EX-100JIS-XON | EX-150JIS-XON | EX-200JIS-XON | EX-250JIS-XON | EX-300JIS-XON | EX-350JIS-XON | EX-400JIS-XON | EX-450JIS-XON | EX-500JIS-XON | EX-550JIS-XON | |
| 商品 コード | 16409□□ | 16410□□ | 16411□□ | 16412□□ | 16413□□ | 16414□□ | 16414□□ | 16415□□ | 16415□□ | 16416□□ | 16416□□ | |
| 口径 | 80 | 100 | 150 | 200 | 250 | 300 | 350 | 400 | 450 | 500 | 550 | |
| A | 70 | 70 | 80 | 80 | 85 | 85 | 100 | 100 | 150 | 150 | 150 | |
| B | 80 | 100 | 150 | 200 | 250 | 300 | 350 | 400 | 450 | 500 | 550 | |
| D | 160 | 185 | 235 | 300 | 350 | 400 | 450 | 520 | 575 | 625 | 680 | |
| n—E | 4-M10 | 8-M10 | 8-M10 | 8-M12 | 12-M12 | 12-M12 | 12-M12 | 12-M16 | 16-M16 | 16-M16 | 16-M16 | |
| F | 135 | 160 | 210 | 270 | 320 | 370 | 420 | 480 | 535 | 585 | 640 | |
| H | 314.5 | 314.5 | 401.5 | 541 | 654 | 752 | 916 | 1023 | 1170 | 1280 | 1394 | |
| J | 165.5 | 165.5 | 207.5 | 273 | 327 | 378 | 457 | 507 | 535 | 620 | 680 | |
| K | 4.5 | 4.5 | 4.5 | 7.5 | 10.5 | 10.5 | 18.5 | 18.5 | 15 | 15 | 15 | |
| L | 235 | 235 | 235 | 305 | 381 | 381 | 514 | 514 | 632 | 632 | 632 | |
| M | 81 | 81 | 81 | 90 | 102 | 112 | 130 | 130 | 184 | 184 | 215 | |
| N | 79 | 79 | 79 | 107.5 | 113.5 | 129.5 | 129.5 | 129.5 | 170 | 170 | 170 | |
| O | 15 | 15 | 15 | 21 | 28 | 28 | 40 | 40 | 54.5 | 54.5 | 54.5 | |
| P | 63 | 63 | 63 | 79.5 | 83.5 | 84.5 | 91.5 | 92.5 | 126 | 126 | 126 | |
| Q | 98 | 98 | 98 | 126 | 130 | 131 | 138 | 139 | 196 | 196 | 196 | |
| R | 88 | 88 | 88 | 145 | 145 | 145 | 155 | 155 | 210 | 210 | 210 | |
| T | 180 | 180 | 235 | 308 | 380 | 430 | 512 | 560 | 620 | 680 | 750 | |
| U | 158 | 158 | 210 | 284 | 348 | 402 | 480 | 528 | 582 | 642 | 700 | |
| V | 60 | 60 | 60 | 60 | 72 | 72 | 80 | 82 | 120 | 120 | 120 | |
| W | 79 | 79 | 99 | 135 | 165 | 190 | 231 | 255 | 290 | 315 | 345 | |
※口径によっては取付姿勢が限定されます。詳しくは営業までお問い合わせください。
※バルブ取付用ネジはフランジのネジ深さ以上ネジ込まないように注意してください。
EX-ISO-XON シリーズ寸法図
| 単位:mm | ||||||||
|
形式 |
EX-80ISO-XON |
EX-100ISO-XON |
EX-150ISO-XON |
EX-200ISO-XON |
EX-250ISO-XON |
EX-300ISO-XON |
EX-400ISO-XON |
EX-500ISO-XON |
|
商品コード |
16467□□ |
16468□□ |
16470□□ |
16471□□ |
16472□□ |
16473□□ |
16474□□ |
16475□□ |
|
口径 |
80 |
100 |
150 |
200 |
250 |
300 |
400 |
500 |
|
A |
70 |
70 |
80 |
80 |
85 |
85 |
100 |
150 |
|
B |
80 |
100 |
150 |
200 |
250 |
300 |
400 |
501 |
|
C |
83 |
102 |
153 |
213 |
261 |
318 |
400 |
501 |
|
D |
145 |
165 |
225 |
285 |
335 |
425 |
510 |
610 |
|
n—E |
8-M8 |
8-M8 |
8-M10 |
12-M10 |
12-M10 |
12-M12 |
16-M12 |
16-M12 |
|
F |
125 |
145 |
200 |
260 |
310 |
395 |
480 |
580 |
|
H |
314.5 |
314.5 |
401.5 |
541 |
654 |
752 |
1023 |
1280 |
|
J |
165.5 |
165.5 |
207.5 |
273 |
327 |
378 |
507 |
620 |
|
K |
4.5 |
4.5 |
4.5 |
7.5 |
10.5 |
10.5 |
18.5 |
15 |
|
L |
235 |
235 |
235 |
305 |
381 |
381 |
514 |
632 |
|
M |
81 |
81 |
81 |
90 |
102 |
112 |
130 |
184 |
|
N |
79 |
79 |
79 |
107.5 |
113.5 |
113.5 |
129.5 |
170 |
|
O |
15 |
15 |
15 |
21 |
28 |
28 |
40 |
54.5 |
|
P |
63 |
63 |
63 |
79.5 |
83.5 |
84.5 |
91.5 |
126 |
|
Q |
98 |
98 |
98 |
126 |
130 |
131 |
139 |
196 |
|
R |
88 |
88 |
88 |
145 |
145 |
145 |
155 |
210 |
|
T |
180 |
180 |
235 |
308 |
380 |
430 |
560 |
680 |
|
U |
158 |
158 |
210 |
284 |
348 |
402 |
528 |
642 |
|
V |
60 |
60 |
60 |
60 |
72 |
72 |
82 |
120 |
|
W |
79 |
79 |
99 |
135 |
165 |
190 |
255 |
315 |
※口径によっては取付姿勢が限定されます。詳しくは営業までお問い合わせください。
※バルブ取付用ネジはフランジのネジ深さ以上ネジ込まないように注意してください。
EX-CF-XON シリーズ寸法図
| 単位:mm | |||||
|
形式 |
EX-70CF-XON |
EX-100CF-XON |
EX-150CF-XON |
EX-200CF-XON |
EX-250CF-XON |
|
商品コード |
16443□□ |
16444□□ |
16445□□ |
16446□□ |
16447□□ |
|
口径 |
70 |
100 |
150 |
200 |
250 |
|
A |
70 |
70 |
80 |
80 |
100 |
|
B |
70 |
100 |
150 |
200 |
250 |
|
D |
113.5 |
151.6 |
202.4 |
253.2 |
306 |
|
n—E |
8-M8 |
16-M8 |
20-M8 |
24-M8 |
32-M8 |
|
F |
92.1 |
130.2 |
181 |
231.8 |
284 |
|
H |
314.5 |
314.5 |
401.5 |
541 |
654 |
|
J |
165.5 |
165.5 |
207.5 |
273 |
327 |
|
K |
4.5 |
4.5 |
4.5 |
7.5 |
10.5 |
|
L |
235 |
235 |
235 |
305 |
381 |
|
M |
81 |
81 |
81 |
90 |
102 |
|
N |
79 |
79 |
79 |
107.5 |
113.5 |
|
O |
15 |
15 |
15 |
21 |
28 |
|
P |
63 |
63 |
63 |
79.5 |
83.5 |
|
Q |
98 |
98 |
98 |
126 |
130 |
|
R |
88 |
88 |
88 |
145 |
145 |
|
T |
180 |
180 |
235 |
308 |
380 |
|
U |
158 |
158 |
210 |
284 |
348 |
|
V |
60 |
60 |
60 |
60 |
72 |
|
W |
79 |
79 |
99 |
135 |
165 |
※口径によっては取付姿勢が限定されます。詳しくは営業までお問い合わせください。
※バルブ取付用ネジはフランジのネジ深さ以上ネジ込まないように注意してください。
ＥＸ－ＸＯＮシリーズの各部名称
弁体開度の調整方法
＜調整方法＞
上図の左側部分図のようにシリンダ2から調整フランジを引き出すことにより、弁体の開口面積を全覆（０％）～４５％の範囲で調整することができます。
調整フランジの引き出し量：Ｙと弁体開口面積の関係を表－１に示します。この表は計算値をもとに作成してありますので、実際の弁体開口面積とは若干異なる場合がありますので御注意下さい。
表－１
| 単位:mm | ||||||
|
口径 |
４５％ |
３０％ |
２０％ |
１０％ |
５％ |
全覆 |
|
８０Ａ |
15 |
12.6 |
11.3 |
9.6 |
8.5 |
0 |
|
１００Ａ |
15 |
12.0 |
10.2 |
8.1 |
6.5 |
0 |
|
１５０Ａ |
15 |
11.7 |
10.0 |
7.6 |
5.9 |
0 |
|
２００Ａ |
21 |
17.2 |
14.7 |
11.7 |
9.5 |
0 |
|
２５０Ａ |
28 |
22.2 |
19.0 |
14.9 |
11.8 |
0 |
|
３００Ａ |
28 |
21.9 |
18.5 |
14.3 |
11.2 |
0 |
|
３５０Ａ |
40 |
32.7 |
27.7 |
21.6 |
17.5 |
0 |
|
４００Ａ |
40 |
31.8 |
26.9 |
20.9 |
16.4 |
0 |
＊ 引き出し量：Ｙは、調整フランジ引き出し後、ロックナットを固定した時の寸法です。
エアー接続方法
圧力 ０.４～０.６ＭＰa Ｇのエアーを供給口ａ,ｂ,ｃに接続して下さい。各供給口でのエアーのＩＮ，ＯＵＴとバルブ動作の関係を表－２に示します。
表－２
|
バルブ動作 |
供給口ａ |
供給口ｂ |
供給口ｃ |
|
全閉 |
ＩＮ |
ＯＵＴ |
注）参照 |
|
全開 |
ＯＵＴ |
ＩＮ |
ＯＵＴ |
|
中間停止 |
ＯＵＴ |
ＩＮ |
ＩＮ |
注）ＩＮでもＯＵＴでも可