自動バタフライバルブ BV-AXONⅡシリーズ

BV-AXONⅡシリーズ

100万回開閉及び2年保証の高機能タイプ

高性能

  • 新しくなった機構により100万回開閉及び2年保証の高機能タイプです。

1台で2台分の働きをします

  • 弁開度が0度~45度と90度(全開)の2位置で作動させることができるので、1台のバルブでスロー排気と高速排気ができます。
  • 通常の全閉(フルクローズ)と全開(フルオープン)用エアーシリンダに加えて、弁開度を0度~45度の範囲で任意に設定できるエアーシリンダを設けた2段階の構造です。

ダブルエアーシリンダ方式を採用

  • ダブルエアーシリンダ方式を採用することにより、弁体開時にはエアー推力が倍増し、さらにエアーダンパー機構により衝撃力は緩和されました。
  • バイパス流路及びアシスト室をシリンダ内に設けたものがダブルシリンダ方式です。
  • バイパス流路は弁体開側シリンダ室からアシスト室(弁体閉側シリンダ室のピストン裏側)につながっており、その口径は空気供給口の口径より十分に小さくしてあります。
  • この機構によりアシスト室に十分な空気が供給(排出)される前にピストン運動が始まりますので、弁体開(閉)時には、アシスト室内の圧力は負(加)圧となり、アシスト室がエアークッションの働きをして衝撃力を緩和します

従来の自動バタフライバルブと交換可能、採用しやすい価格

  • 従来の自動バタフライバルブと同寸法のため即交換できます。
  • 2台分の価格よりはるかにお得な価格なので、排気系のコストダウンになります。

BV-AXONⅡシリーズの主な仕様

フランジ形式 JIS・NW・ISO・CF
リーク量 1×10-9Pam3/s以下
使用領域 105~10-6Pa
ディスクシール バイトンOリング
口径 25A~350A
接ガス部材質 SUS304
作動空気圧 0.4~0.6MPa G
軸シール バイトンOリング2段
  • 開閉信号用としてフルクローズとフルオープンのマイクロスイッチを標準装備
    中間位置信号が必要な場合は、オプションにて製作可能です。
  • 本バルブの性能を維持するためには弁体Oリングの定期的な交換、弁シール部への定期的グリスアップが必要となります。
  • 口径150A以上については、中間位置への移動は全開位置からの動作となります。全閉位置から動作させる仕様も製作可能です、お問合せ下さい。
  • その他特殊仕様品も製作可能です、ご相談下さい。

※本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。

BV-JIS AXONⅡシリーズ寸法図

BV-JIS AXONⅡシリーズ寸法図
単位:mm
型式 BV-1AXONⅡ BV-2AXONⅡ BV-2.5AXONⅡ BV-3AXONⅡ BV-4AXONⅡ BV-6AXONⅡ BV-8AXONⅡ BV-10AXONⅡ BV-12AXONⅡ BV-14AXONⅡ
商品コード 10205□□ 10207□□ 10208□□ 10209□□ 10210□□ 10211□□ 10212□□ 10213□□ 10214□□ 10215□□
A 20 20 20 20 20 26 40 40 45 50
B 34 52 68 81 104 158 209 258 308 357
C 58 88 105 120 145 190 250 302 352 402
D 90 120 145 160 185 235 300 350 400 450
n—E 4-φ10 4-φ10 4-φ12 4-φ12 8-φ12 8-φ12 8-φ15 12-φ15 12-φ15 12-φ15
F 70 100 120 135 160 210 270 320 370 420
G 33 52 67 80 102 154 206 254 303 354
H 138 168.5 198 212 237.5 299 380 446 496 552
J 55 70 83 90.5 103 127.5 165 200 225 240
K 43 58.5 71.5 78 91 116.5 148.5 173.5 198.5 224
L 170 170 200 200 200 270 350 380 380 584
M 40 40 47 47 47 70 93 105 105 136
N 60 60 76 76 76 88 130 145 145 180
P 40 70 85 100 120 175 225 275 325 380
Q 5 5 5 5 5 5 8 8 8 8
R 55 55 61 61 61 79 107.5 123.5 123.5 185
S 15.5 15.5 19.5 19.5 19.5 22 23 23 23 37
T 55 55 58 58 58 69 90 100 100 135
U 9.5 9.5 9.5 9.5 9.5 12.5 23.5 31.5 31.5 55
V V40 V70 V85 V100 V120 V175 V225 V275 V325 V380
W Rp1/8 Rp1/8 Rp1/8 Rp1/8 Rp1/8 Rc1/4 Rc1/4 Rc1/4 Rc1/4 Rc1/4
X Rc1/8 Rc1/8 Rc1/8 Rc1/8 Rc1/8 Rc1/4 Rc1/4 Rc1/4 Rc1/4 Rc1/4
Y 4 4 4 4 4 4 4 4 4 5

注1. 上記は、JIS B2290 真空装置用フランジ 附属書 保守用フランジに準拠したフランジです。

BV-ISO AXONⅡシリーズ寸法図

BV-ISO AXONⅡシリーズ寸法図
単位:mm
型式 BV-
ISO40AXONⅡ
BV-
ISO50AXONⅡ
BV-
ISO63AXONⅡ
BV-
ISO80AXONⅡ
BV-
ISO100AXONⅡ
BV-
ISO160AXONⅡ
BV-
ISO200AXONⅡ
BV-
ISO250AXONⅡ
商品コード 10965□□ 10966□□ 10967□□ 10967□□ 10968□□ 10970□□ 10971□□ 10972□□
A 30 30 30 30 30 50 50 50
B 34 52 68 81 104 158 209 258
C 100 110 130 145 165 225 285 335
D 120 120 145 160 185 235 300 350
n—E 4-φ9 4-φ9 4-φ9 8-φ9 8-φ9 8-φ11 12-φ11 12-φ11
F 80 90 110 125 145 200 260 310
G 23 47 62 76 100 148 203 251
H 168.5 168.5 198 212 237.5 299 380 446
J 70 70 83 90.5 103 127.5 165 200
K 58.5 58.5 71.5 78 91 116.5 148.5 173.5
L 170 170 200 200 200 270 350 380
M 40 40 47 47 47 70 93 105
N 60 60 76 76 76 88 130 145
R 55 55 61 61 61 79 107.5 123.5
S 15.5 15.5 19.5 19.5 19.5 22 23 23
T 55 55 58 58 58 69 90 100
U 9.5 9.5 9.5 9.5 9.5 12.5 23.5 31.5
W Rp1/8 Rp1/8 Rp1/8 Rp1/8 Rp1/8 Rc1/4 Rc1/4 Rc1/4
X Rp1/8 Rp1/8 Rp1/8 Rp1/8 Rp1/8 Rc1/4 Rc1/4 Rc1/4

注1. 上記は、ISO1609 Vacuum technology-Flange dimensionsに準拠したフランジです。

BV-CF AXONⅡシリーズ寸法図

BV-CF AXONⅡシリーズ寸法図
単位:mm
型式 BV-
CF40AXONⅡ
BV-
CF63AXONⅡ
BV-
CF100AXONⅡ
BV-
CF160AXONⅡ
BV-
CF200AXONⅡ
BV-
CF250AXONⅡ
商品コード 10940□□ 10942□□ 10944□□ 10945□□ 10947□□ 10948□□
A 30 30 30 50 50 50
B 34 52 104 158 209 258
C 69.4 113.5 151.6 202.4 253.2 305.0
D 90 120 185 235 300 350
n—E 6-M6 8-M8 16-M8 20-M8 24-M8 32-M8
F 58.7 92.1 130.2 181 231.8 284
G 23 47 100 148 203 251
H 138 168.5 237.5 299 380 446
J 55 70 103 127.5 165 200
K 43 58.5 91 116.5 148.5 173.5
L 170 170 200 270 350 380
M 40 40 47 70 93 105
N 60 60 76 88 130 145
R 55 55 61 79 107.5 123.5
S 15.5 15.5 19.5 22 23 23
T 55 55 58 69 90 100
U 9.5 9.5 9.5 12.5 23.5 31.5
W Rp1/8 Rp1/8 Rp1/8 Rc1/4 Rc1/4 Rc1/4
X Rp1/8 Rp1/8 Rp1/8 Rc1/4 Rc1/4 Rc1/4

注. 上記は、ISO/TS 3669-2 Vacuum technology-Bakable flanges-Part2:Dimensions of knife-edge flangesに準拠したフランジです。
注. CF40には、漏れ探し溝はありません。

BV-NW AXONⅡシリーズ寸法図

BV-NW AXONⅡシリーズ寸法図
単位:mm
型式 BV-NW40AXONⅡ BV-NW50AXONⅡ BV-NW63AXONⅡ BV-NW80AXONⅡ BV-NW100AXONⅡ
商品コード 10224□□ 10225□□ 10226□□ 10227□□ 10228□□
A 40 40 40 60 60
B 34 52 68 81 104
D 55 75 87 114 134
G 0 36 56 55 84
H 138 168.5 198 212 237.5
J 55 70 83 90.5 103
K 43 58.5 71.5 78 91
L 170 170 200 200 200
M 40 40 47 47 47
N 60 60 76 76 76
R 55 55 61 61 61
S 15.5 15.5 19.5 19.5 19.5
T 55 55 58 58 58
U 9.5 9.5 9.5 9.5 9.5

注1. 取付は弊社マルチクランプをご使用下さい。弊社以外のクランプをご使用の場合には、クランプの形状によりバルブが取り付かない場合があります。

BV-AXONⅡシリーズの各部名称

BV-AXONⅡシリーズの各部名称

弁体開度の調整方法

<調整方法>

上図の右側部分図のようにシリンダ2からエンドフランジを引き出すことにより、弁開度を0°~45°の範囲で調整することができます。

エンドフランジの引き出し量:Yと弁開度の関係を表-1に示します。この表は計算値をもとに作成してありますので、実際の弁開度とは異なる場合がありますので御注意下さい。

表-1

単位:mm

口径

45°

30°

15°

5°

0°

100A以下

0

3.1

6.3

8.4

9.4

150A

0

4.6

8.8

11.6

13.0

200A

0

7.8

15.6

20.9

23.5

250A・300A

0

10.5

21.0

28.0

31.5

350A

0

18.3

36.7

48.9

55.0

*弁開度0°は、シリンダ2の調整であり、シリンダ1の開閉動作とは関係がありません。
* 引き出し量:Yは、エンドフランジ引き出し後、ロックナットを固定した時の寸法です。

エアー接続方法

圧力 0.4~0.6MPa Gのエアーを供給口a,b,cに接続して下さい。各供給口でのエアーのIN,OUTとバルブ動作の関係を表-2に示します。

表-2

バルブ動作

供給口a

供給口b

供給口c

全閉

IN

OUT

OUT

全開

OUT

IN

注)参照

中間停止

IN

OUT

IN

注)INでもOUTでも可