自動バタフライバルブ BV-AXONⅡシリーズ
100万回開閉及び2年保証の高機能タイプ
高性能
- 新しくなった機構により100万回開閉及び2年保証の高機能タイプです。
1台で2台分の働きをします
- 弁開度が0度~45度と90度(全開)の2位置で作動させることができるので、1台のバルブでスロー排気と高速排気ができます。
- 通常の全閉(フルクローズ)と全開(フルオープン)用エアーシリンダに加えて、弁開度を0度~45度の範囲で任意に設定できるエアーシリンダを設けた2段階の構造です。
ダブルエアーシリンダ方式を採用
- ダブルエアーシリンダ方式を採用することにより、弁体開時にはエアー推力が倍増し、さらにエアーダンパー機構により衝撃力は緩和されました。
- バイパス流路及びアシスト室をシリンダ内に設けたものがダブルシリンダ方式です。
- バイパス流路は弁体開側シリンダ室からアシスト室(弁体閉側シリンダ室のピストン裏側)につながっており、その口径は空気供給口の口径より十分に小さくしてあります。
- この機構によりアシスト室に十分な空気が供給(排出)される前にピストン運動が始まりますので、弁体開(閉)時には、アシスト室内の圧力は負(加)圧となり、アシスト室がエアークッションの働きをして衝撃力を緩和します
従来の自動バタフライバルブと交換可能、採用しやすい価格
- 従来の自動バタフライバルブと同寸法のため即交換できます。
- 2台分の価格よりはるかにお得な価格なので、排気系のコストダウンになります。
BV-AXONⅡシリーズの主な仕様
フランジ形式 | JIS・NW・ISO・CF |
---|---|
リーク量 | 1×10-9Pam3/s以下 |
使用領域 | 105~10-6Pa |
ディスクシール | バイトンOリング |
口径 | 25A~350A |
---|---|
接ガス部材質 | SUS304 |
作動空気圧 | 0.4~0.6MPa G |
軸シール | バイトンOリング2段 |
- 開閉信号用としてフルクローズとフルオープンのマイクロスイッチを標準装備
中間位置信号が必要な場合は、オプションにて製作可能です。 - 本バルブの性能を維持するためには弁体Oリングの定期的な交換、弁シール部への定期的グリスアップが必要となります。
- 口径150A以上については、中間位置への移動は全開位置からの動作となります。全閉位置から動作させる仕様も製作可能です、お問合せ下さい。
- その他特殊仕様品も製作可能です、ご相談下さい。
※本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。
BV-JIS AXONⅡシリーズ寸法図
単位:mm | ||||||||||
型式 | BV-1AXONⅡ | BV-2AXONⅡ | BV-2.5AXONⅡ | BV-3AXONⅡ | BV-4AXONⅡ | BV-6AXONⅡ | BV-8AXONⅡ | BV-10AXONⅡ | BV-12AXONⅡ | BV-14AXONⅡ |
商品コード | 10205□□ | 10207□□ | 10208□□ | 10209□□ | 10210□□ | 10211□□ | 10212□□ | 10213□□ | 10214□□ | 10215□□ |
A | 20 | 20 | 20 | 20 | 20 | 26 | 40 | 40 | 45 | 50 |
B | 34 | 52 | 68 | 81 | 104 | 158 | 209 | 258 | 308 | 357 |
C | 58 | 88 | 105 | 120 | 145 | 190 | 250 | 302 | 352 | 402 |
D | 90 | 120 | 145 | 160 | 185 | 235 | 300 | 350 | 400 | 450 |
n—E | 4-φ10 | 4-φ10 | 4-φ12 | 4-φ12 | 8-φ12 | 8-φ12 | 8-φ15 | 12-φ15 | 12-φ15 | 12-φ15 |
F | 70 | 100 | 120 | 135 | 160 | 210 | 270 | 320 | 370 | 420 |
G | 33 | 52 | 67 | 80 | 102 | 154 | 206 | 254 | 303 | 354 |
H | 138 | 168.5 | 198 | 212 | 237.5 | 299 | 380 | 446 | 496 | 552 |
J | 55 | 70 | 83 | 90.5 | 103 | 127.5 | 165 | 200 | 225 | 240 |
K | 43 | 58.5 | 71.5 | 78 | 91 | 116.5 | 148.5 | 173.5 | 198.5 | 224 |
L | 170 | 170 | 200 | 200 | 200 | 270 | 350 | 380 | 380 | 584 |
M | 40 | 40 | 47 | 47 | 47 | 70 | 93 | 105 | 105 | 136 |
N | 60 | 60 | 76 | 76 | 76 | 88 | 130 | 145 | 145 | 180 |
P | 40 | 70 | 85 | 100 | 120 | 175 | 225 | 275 | 325 | 380 |
Q | 5 | 5 | 5 | 5 | 5 | 5 | 8 | 8 | 8 | 8 |
R | 55 | 55 | 61 | 61 | 61 | 79 | 107.5 | 123.5 | 123.5 | 185 |
S | 15.5 | 15.5 | 19.5 | 19.5 | 19.5 | 22 | 23 | 23 | 23 | 37 |
T | 55 | 55 | 58 | 58 | 58 | 69 | 90 | 100 | 100 | 135 |
U | 9.5 | 9.5 | 9.5 | 9.5 | 9.5 | 12.5 | 23.5 | 31.5 | 31.5 | 55 |
V | V40 | V70 | V85 | V100 | V120 | V175 | V225 | V275 | V325 | V380 |
W | Rp1/8 | Rp1/8 | Rp1/8 | Rp1/8 | Rp1/8 | Rc1/4 | Rc1/4 | Rc1/4 | Rc1/4 | Rc1/4 |
X | Rc1/8 | Rc1/8 | Rc1/8 | Rc1/8 | Rc1/8 | Rc1/4 | Rc1/4 | Rc1/4 | Rc1/4 | Rc1/4 |
Y | 4 | 4 | 4 | 4 | 4 | 4 | 4 | 4 | 4 | 5 |
注1. 上記は、JIS B2290 真空装置用フランジ 附属書 保守用フランジに準拠したフランジです。
BV-ISO AXONⅡシリーズ寸法図
単位:mm | ||||||||
型式 | BV- ISO40AXONⅡ |
BV- ISO50AXONⅡ |
BV- ISO63AXONⅡ |
BV- ISO80AXONⅡ |
BV- ISO100AXONⅡ |
BV- ISO160AXONⅡ |
BV- ISO200AXONⅡ |
BV- ISO250AXONⅡ |
商品コード | 10965□□ | 10966□□ | 10967□□ | 10967□□ | 10968□□ | 10970□□ | 10971□□ | 10972□□ |
A | 30 | 30 | 30 | 30 | 30 | 50 | 50 | 50 |
B | 34 | 52 | 68 | 81 | 104 | 158 | 209 | 258 |
C | 100 | 110 | 130 | 145 | 165 | 225 | 285 | 335 |
D | 120 | 120 | 145 | 160 | 185 | 235 | 300 | 350 |
n—E | 4-φ9 | 4-φ9 | 4-φ9 | 8-φ9 | 8-φ9 | 8-φ11 | 12-φ11 | 12-φ11 |
F | 80 | 90 | 110 | 125 | 145 | 200 | 260 | 310 |
G | 23 | 47 | 62 | 76 | 100 | 148 | 203 | 251 |
H | 168.5 | 168.5 | 198 | 212 | 237.5 | 299 | 380 | 446 |
J | 70 | 70 | 83 | 90.5 | 103 | 127.5 | 165 | 200 |
K | 58.5 | 58.5 | 71.5 | 78 | 91 | 116.5 | 148.5 | 173.5 |
L | 170 | 170 | 200 | 200 | 200 | 270 | 350 | 380 |
M | 40 | 40 | 47 | 47 | 47 | 70 | 93 | 105 |
N | 60 | 60 | 76 | 76 | 76 | 88 | 130 | 145 |
R | 55 | 55 | 61 | 61 | 61 | 79 | 107.5 | 123.5 |
S | 15.5 | 15.5 | 19.5 | 19.5 | 19.5 | 22 | 23 | 23 |
T | 55 | 55 | 58 | 58 | 58 | 69 | 90 | 100 |
U | 9.5 | 9.5 | 9.5 | 9.5 | 9.5 | 12.5 | 23.5 | 31.5 |
W | Rp1/8 | Rp1/8 | Rp1/8 | Rp1/8 | Rp1/8 | Rc1/4 | Rc1/4 | Rc1/4 |
X | Rp1/8 | Rp1/8 | Rp1/8 | Rp1/8 | Rp1/8 | Rc1/4 | Rc1/4 | Rc1/4 |
注1. 上記は、ISO1609 Vacuum technology-Flange dimensionsに準拠したフランジです。
BV-CF AXONⅡシリーズ寸法図
単位:mm | ||||||
型式 | BV- CF40AXONⅡ |
BV- CF63AXONⅡ |
BV- CF100AXONⅡ |
BV- CF160AXONⅡ |
BV- CF200AXONⅡ |
BV- CF250AXONⅡ |
商品コード | 10940□□ | 10942□□ | 10944□□ | 10945□□ | 10947□□ | 10948□□ |
A | 30 | 30 | 30 | 50 | 50 | 50 |
B | 34 | 52 | 104 | 158 | 209 | 258 |
C | 69.4 | 113.5 | 151.6 | 202.4 | 253.2 | 305.0 |
D | 90 | 120 | 185 | 235 | 300 | 350 |
n—E | 6-M6 | 8-M8 | 16-M8 | 20-M8 | 24-M8 | 32-M8 |
F | 58.7 | 92.1 | 130.2 | 181 | 231.8 | 284 |
G | 23 | 47 | 100 | 148 | 203 | 251 |
H | 138 | 168.5 | 237.5 | 299 | 380 | 446 |
J | 55 | 70 | 103 | 127.5 | 165 | 200 |
K | 43 | 58.5 | 91 | 116.5 | 148.5 | 173.5 |
L | 170 | 170 | 200 | 270 | 350 | 380 |
M | 40 | 40 | 47 | 70 | 93 | 105 |
N | 60 | 60 | 76 | 88 | 130 | 145 |
R | 55 | 55 | 61 | 79 | 107.5 | 123.5 |
S | 15.5 | 15.5 | 19.5 | 22 | 23 | 23 |
T | 55 | 55 | 58 | 69 | 90 | 100 |
U | 9.5 | 9.5 | 9.5 | 12.5 | 23.5 | 31.5 |
W | Rp1/8 | Rp1/8 | Rp1/8 | Rc1/4 | Rc1/4 | Rc1/4 |
X | Rp1/8 | Rp1/8 | Rp1/8 | Rc1/4 | Rc1/4 | Rc1/4 |
注. 上記は、ISO/TS 3669-2 Vacuum technology-Bakable flanges-Part2:Dimensions of knife-edge flangesに準拠したフランジです。
注. CF40には、漏れ探し溝はありません。
BV-NW AXONⅡシリーズ寸法図
単位:mm | ||||||
型式 | BV-NW40AXONⅡ | BV-NW50AXONⅡ | BV-NW63AXONⅡ | BV-NW80AXONⅡ | BV-NW100AXONⅡ | |
商品コード | 10224□□ | 10225□□ | 10226□□ | 10227□□ | 10228□□ | |
A | 40 | 40 | 40 | 60 | 60 | |
B | 34 | 52 | 68 | 81 | 104 | |
D | 55 | 75 | 87 | 114 | 134 | |
G | 0 | 36 | 56 | 55 | 84 | |
H | 138 | 168.5 | 198 | 212 | 237.5 | |
J | 55 | 70 | 83 | 90.5 | 103 | |
K | 43 | 58.5 | 71.5 | 78 | 91 | |
L | 170 | 170 | 200 | 200 | 200 | |
M | 40 | 40 | 47 | 47 | 47 | |
N | 60 | 60 | 76 | 76 | 76 | |
R | 55 | 55 | 61 | 61 | 61 | |
S | 15.5 | 15.5 | 19.5 | 19.5 | 19.5 | |
T | 55 | 55 | 58 | 58 | 58 | |
U | 9.5 | 9.5 | 9.5 | 9.5 | 9.5 |
注1. 取付は弊社マルチクランプをご使用下さい。弊社以外のクランプをご使用の場合には、クランプの形状によりバルブが取り付かない場合があります。
BV-AXONⅡシリーズの各部名称
弁体開度の調整方法
<調整方法>
上図の右側部分図のようにシリンダ2からエンドフランジを引き出すことにより、弁開度を0°~45°の範囲で調整することができます。
エンドフランジの引き出し量:Yと弁開度の関係を表-1に示します。この表は計算値をもとに作成してありますので、実際の弁開度とは異なる場合がありますので御注意下さい。
表-1
単位:mm | |||||
口径 |
45° |
30° |
15° |
5° |
0° |
100A以下 |
0 |
3.1 |
6.3 |
8.4 |
9.4 |
150A |
0 |
4.6 |
8.8 |
11.6 |
13.0 |
200A |
0 |
7.8 |
15.6 |
20.9 |
23.5 |
250A・300A |
0 |
10.5 |
21.0 |
28.0 |
31.5 |
350A |
0 |
18.3 |
36.7 |
48.9 |
55.0 |
*弁開度0°は、シリンダ2の調整であり、シリンダ1の開閉動作とは関係がありません。
* 引き出し量:Yは、エンドフランジ引き出し後、ロックナットを固定した時の寸法です。
エアー接続方法
圧力 0.4~0.6MPa Gのエアーを供給口a,b,cに接続して下さい。各供給口でのエアーのIN,OUTとバルブ動作の関係を表-2に示します。
表-2
バルブ動作 |
供給口a |
供給口b |
供給口c |
全閉 |
IN |
OUT |
OUT |
全開 |
OUT |
IN |
注)参照 |
中間停止 |
IN |
OUT |
IN |
注)INでもOUTでも可