新型 デュアル自動圧力制御システムコントローラ FPC-181S
低価格・コンパクト・高性能・多彩な機能を搭載したコントローラです。 使用用途に合わせたバルブを選択できます。
MBV-(SDⅡ) (ADⅡ) (LDⅡ)-M4/AZ/MP<APC>
MEX-LD-M4/AZ/MP<APCシリーズ>対応
- APCモードとMPAモードが切り替えられるため、より多彩な制御が可能になります。
- FPC-181S コントローラ1台で2台のコントロールバルブを制御できます。
- パラメータの設定はパソコンを接続して簡単に行えます。また、上位PLCに接続せず、パソコンからシステムを操作することも可能です。
- 本システムに使用する当社バルブは完全シールできますので、圧力を自動制御するだけでなく排気ラインのフルクローズができます。
バタフライバルブ MBV-(ADⅡ)(LDⅡ)-M4 シリーズ/ゲートバルブ MEX-LD-M4シリーズ
バタフライバルブ MBV-LDⅡ-AZシリーズ / ゲートバルブ MEX-LD-AZシリーズ
バタフライバルブ MBV-LDⅡ-MP シリーズ/ゲートバルブ MEX-LD-MPシリーズ - ローコスト対応リーケージ仕様自動圧力制御 (20A NW25サイズは、全閉可能な仕様も準備しています。)
MBV-SDⅡ-M4シリーズ・MBV-SDⅡ-AZシリーズ - UPS電源を追加することで、停電対策が可能となります。(停電時、バルブは自動的に全閉位置、または全開位置に移動します。)
- オプションとして、Ethernet通信・RS485通信も対応可能です。
1.APCモード(自動圧力制御モード)
- 多彩な制御方法が選択可能です。
- 2台の真空計からの信号により2台のコントロールバルブを個別に制御できます。
- 1台の真空計からの信号により2台のコントロールバルブを同期制御できます。
- 2台の真空計からの信号を圧力に応じ切り替えて、1台のコントロールバルブを制御できます。
- 2台の真空計からの信号を圧力に応じ切り替えて、2台のコントロールバルブを同期制御できます。
- より細かい圧力設定が可能です。
- 最大8セグメント(ステップ)のプログラムをコントロールバルブ毎に8種類作成することができます。
- PID値は各セグメント(ステップ)ごとに設定できます。
- 2台の真空計を圧力に応じ切り替えて使用することで、広範囲な圧力制御が可能です。
- パラメータの設定により、リニア出力とLog出力の真空計が使用できます。
- 自動圧力制御とマルチポジション制御の両方を兼ね備えており、任意のポジションから目標とする圧力へと速くスムーズな圧力制御ができます。
2.MPAモード(簡易圧力制御モード)
- コントローラに電流(4~20mA)または電圧(0~10V)を入力することで、全閉~全開間をリニアに動作させることが可能です。
- あらかじめ登録しておいた16ポジション(全閉、全開以外に14ポジション)に、外部からの信号で弁体を移動させることができます。
FPC-181Sの主な仕様
1.コントローラ「FPC-181S」
APCモードでは、真空計の出力信号を自動的に演算してコントロールバルブを高速かつ正確に動作させ、安定した制御を実現することができます。また、MPAモードに切り替えることにより、直接電流(4~20mA)または電圧(0~10V)を入力してバルブの全閉~全開間をリニアに動作させることができます。
型 式 | FPC-181S | |
入力電源・消費電流 | DC24V ・ 1A(Max) (真空計電源は別途ご用意ください。) | |
モード | APCモード | MPAモード |
コントロール制御方式 | PID制御 | 指令電流・指令電圧に応じた位置制御 |
最大分解能 | センサ(真空計)FSの 0.1% | 入力電流または電圧 FS の0.1% |
機 能 | ・現在圧力の表示、目標圧力の設定・表示や、PID制御のパラメータ設定などをパソコンで簡単に行うことができます。 ・外部信号の入出力によるリモート操作のほかに、パソコンで操作することができます。 ・パソコンでは、圧力コントロール以外にマルチポジションの設定や動作が可能です。(全閉・全開の他に最大14ポジション) |
・4mA(または0V※1):全閉、20mA(または10V※1):全開として、その間は入力値に応じてリニアに弁体が移動します。 ・パソコンで設定した16ポジション(全閉・全開の他に最大14ポジション)に外部からの信号で弁体を移動させることができます。 |
・サーボモータシステムのトラブル発生時にはアラームを出力します。(ALARMランプ点灯) | ||
外形寸法 | 31.6 × 142 × 172 | |
オプション | ・Ethernet通信 RS485通信 他 |
※1 電圧入力の上下限値は0~10Vの間で設定できます。
2.真空計
真空計は、現在お使いになっている市販品をそのままご利用頂くことが可能です。
リニア電圧出力またはLog電圧出力のものを使用して下さい。
電圧の上下限値は0~10Vの間で設定できます。
3.コントロールバルブ
使用するバルブは、当社のモータ駆動バタフライバルブ「MBV-SDⅡシリーズ」「MBV-ADⅡシリーズ」「MBV-LDⅡシリーズ」またはゲートバルブ「MEX-LDシリーズ」から仕様に合ったタイプを選定して下さい。
① M4シリーズ
バタフライバルブ MBV-(SDⅡ)/(ADⅡ)/(LDⅡ)-M4シリーズ |
ゲートバルブ MEX-LD-M4シリーズ |
|
リーク量 | 1×10-9 Pa・m3/s以下 | 1×10-10 Pa・m3/s以下 |
使用領域 | 大気圧(105)~10-6 Pa | |
接ガス部材質 | SUS304 | |
駆動方式 | ACサーボモータ | |
入力電源・定格電流 | AC200-240V 1.7A(2.8A) AC100-120V 5.4A(9.4A) ※ADⅡシリーズ口径200A以上は( )内の値になります。 |
AC200-240V 1.7A AC100-120V 5.4A |
ディスクシール | バイトン Oリング | |
軸シール | バイトン Oリング | |
使用真空グリス | クリューバーアルファGR | |
耐熱温度 | 本体:150℃ 駆動部:40℃ | |
サイズ(口径) | 20A~300A | 70/80A~400A |
フランジタイプ | JIS ISO CF KF(NW) | JIS ISO CF |
バルブの詳細仕様、寸法等に関しては、リーケージタイプ(制御専用/弁体シールなし)「MBV-SDⅡ-M4シリーズ」またはフルクローズ制御「MBV-ADⅡ-M4シリーズ」「MBV-LDⅡ-M4シリーズ」「MEX-LDシリーズ」のカタログをご参照下さい。(AZシリーズ・MPシリーズも対応可能です。)
② AZシリーズ
バタフライバルブ MBV-(SDⅡ)/(LDⅡ)-AZシリーズ |
ゲートバルブ MEX-LD-AZシリーズ |
|
リーク量 | 1×10-9 Pa・m3/s以下 | 1×10-10 Pa・m3/s以下 |
使用領域 | 大気圧(105)~10-6 Pa | |
接ガス部材質 | SUS304 | |
駆動方式 | ステッピングモータ | |
入力電源・定格電流 | DC電源ドライバ ・電圧:DC24V±5%(または、DC48V±5%) 電流:3.45A(3.7A)※1 AC電源ドライバ ・主電源:単相AC100-120V 電流5.4A ・制御電源:DC24V 電流0.25A(0.5A)※1 ・主電源:単相AC200-240V 電流3.3A または、三相AC200-240V 電流2.0A ・制御電源:DC24V 電流0.25A(0.5A)※1 ※1 電磁ブレーキ付の場合は、DC電源の電流値が( )内の値になります。
|
|
ディスクシール | バイトン Oリング | |
軸シール | バイトン Oリング | |
使用真空グリス | クリューバーアルファGR | |
耐熱温度 | 本体:150℃ 駆動部:40℃ | |
サイズ(口径) | 20A~300A | 70/80A~400A |
フランジタイプ | JIS ISO CF KF(NW) | JIS ISO CF |
バルブの詳細仕様、寸法等に関しては、リーケージタイプ(制御専用/弁体シールなし)「MBV-SDⅡ-AZシリーズ」またはフルクローズ制御「MBV-LDⅡ-AZシリーズ」「MEX-LD-AZシリーズ」のカタログをご参照下さい。
③MPシリーズ
バタフライバルブ MBV-LDⅡ-MPシリーズ |
ゲートバルブ MEX-LD-MPシリーズ |
|
リーク量 | 1×10-9 Pa・m3/s以下 | 1×10-10 Pa・m3/s以下 |
使用領域 | 大気圧(105)~10-6 Pa | |
接ガス部材質 | SUS304 | |
駆動方式 | ACサーボモータ | |
入力電源・定格電流 | 動力電源:DC24V 3.0A 制御電源:DC24V 0.2A | |
ディスクシール | バイトン Oリング | |
軸シール | バイトン Oリング | |
使用真空グリス | クリューバーアルファGR | |
耐熱温度 | 本体:150℃ 駆動部:40℃ | |
サイズ(口径) | 20A~300A | 70/80A~400A |
フランジタイプ | JIS ISO CF KF(NW) | JIS ISO CF |
バルブの詳細仕様、寸法等に関しては、フルクローズ制御「MBV-LDⅡ-MPシリーズ」「MEX-LD-MPシリーズ」のカタログをご参照下さい。
コントローラ『 FPC-181S 』標準仕様
No | 名 称 (機能) | No | 名 称 (機能) |
1 | 電源DC24V入力(コネクタ) | 8 | Termi Bus(コネクタ) サーボアンプへ |
2 | REMOTE入出力1(コネクタ) | 9 | UPS(コネクタ) |
3 | REMOTE入出力2(コネクタ) | 10 | MicroB(コネクタ) PCへ |
4 | アナログ入出力1(コネクタ) | 11 | POWER(LED) |
5 | アナログ入出力2(コネクタ) | 12 | READY(LED) |
6 | D24接続1(コネクタ) D24バルブへ | 13 | ALARM(LED) |
7 | D24接続2(コネクタ) D24バルブへ |
コントローラ『FPC-181S』Ethernet 通信 / RS485 通信
No | 名 称 (機能) | No | 名 称 (機能) |
1 | DC24V 電源入力(コネクタ) | 8 | Termi Bus(コネクタ) |
2 | REMOTE 入出力1(コネクタ) | 9 | UPS(コネクタ) |
3 | REMOTE 入出力2(コネクタ) | 10 | Micro B(コネクタ) |
4 | アナログ入出力1(コネクタ) | 11 | POWER(LED) |
5 | アナログ入出力2(コネクタ) | 12 | READY(LED) |
6 | D24 接続1(コネクタ) | 13 | ALARM(LED) |
7 | D24 接続2(コネクタ) | 14 | Ethernet インターフェース(コネクタ) RS-485 インターフェース(コネクタ) |
FPC-181S(M4-ARJ用)≪APCモード≫ 【システム系統図-1】
FPC-181S(M4-ARJ用)≪APCモード≫ 【システム系統図-2】
FPC-181S(M4-ARJ用)≪MPAモード≫ 【システム系統図-3】
名 称 ・ 型 式 | 1軸コントロール | 2軸コントロール |
数量 | 数量 | |
コントローラ FPC-181S (設定用ソフト付属) | 1 | 1 |
バルブ (サーボアンプ付) MBV-SDⅡ-M4-ARJ バルブ (サーボアンプ付) MBV-ADⅡ-M4-ARJ バルブ (サーボアンプ付) MBV-LD-M4-ARJ バルブ (サーボアンプ付) MEX-LD-M4-ARJ |
1 | 2 |
ケーブル類 | ||
①ENCケーブル_4123500 (L=2.0m) | 1 | 2 |
②MOT電源ケーブル_4123520 (L=2.0m) | 1 | 2 |
③SPT-Mケーブル_4123051(L=1.0m/0.15m) | 1 | 1 |
④アナログ入出力ケーブル_4123315 (L=3.0m) | 1 or 2 | 2 |
⑤REMOTE I/F Fケーブル_4123337(3.0m) | 1 | 2 |
1軸コントロールシステム構成 参考
2軸コントロールシステム構成 参考
FPC-181S(AZ用)DC電源ドライバ ≪APCモード≫ 【システム系統図-1】
FPC-181S(AZ用)DC電源ドライバ ≪APCモード≫ 【システム系統図-2】
FPC-181S(AZ用)DC電源ドライバ ≪MPAモード≫ 【システム系統図-3】
名 称 ・ 型 式 | 1軸コントロール | 2軸コントロール |
数量 | 数量 | |
コントローラ FPC-181S (設定用ソフト付属) | 1 | 1 |
バルブ (ドライバ付) MBV-SDⅡ-AZ-KD バルブ (ドライバ付) MBV-LDⅡ-AZ-KD バルブ (ドライバ付) MEX-LD-AZ-KD |
1 | 2 |
ケーブル類 | ||
①接続ケーブルセット_4123823 (L=2.0m) | 1 | 2 |
②SPT-Oケーブル_4123570 (L=1.0/0.5m) | 1 | 1 |
③アナログ入出力ケーブル_4123315 (L=3.0m) | 1 or 2 | 2 |
④REMOTE I/F Fケーブル_4123337 (3.0m) | 1 | 2 |
※2軸コントロールの場合は、ドライバ同士を市販のLANケーブルで接続してください。
FPC-181S(AZ用)AC電源ドライバ ≪APCモード≫ 【システム系統図-1】
FPC-181S(AZ用)AC電源ドライバ ≪APCモード≫ 【システム系統図-2】
FPC-181S(AZ用)AC電源ドライバ ≪MPAモード≫ 【システム系統図-3】
名 称 ・ 型 式 | 1軸コントロール | 2軸コントロール |
数量 | 数量 | |
コントローラ FPC-181S (設定用ソフト付属) | 1 | 1 |
バルブ (ドライバ付) MBV-SDⅡ-AZ-AD/CD バルブ (ドライバ付) MBV-LDⅡ-AZ-AD/CD バルブ (ドライバ付) MEX-LD-AZ-AD/CD |
1 | 2 |
ケーブル類 | ||
①接続ケーブルセット_4123863 (L=2.0m) | 1 | 2 |
②SPT-Oケーブル_4123570 (L=1.0/0.5m) | 1 | 1 |
③アナログ入出力ケーブル_4123315 (L=3.0m) | 1 or 2 | 2 |
④REMOTE I/F Fケーブル_4123337 (3.0m) | 1 | 2 |
※2軸コントロールの場合は、ドライバ同士を市販のLANケーブルで接続してください。
デュアル自動圧力制御システム FPC-181S (MP用)
FPC-181S (MP用) ≪APCモード≫ 【システム系統図-1】
FPC-181S (MP用) ≪APCモード≫ 【システム系統図-2】
FPC-181S (MP用) ≪MPAモード≫ 【システム系統図-3】
名 称 ・ 型 式 | 1軸コントロール | 2軸コントロール |
数量 | 数量 | |
コントローラ FPC-181S (設定用ソフト付属) | 1 | 1 |
バルブ (サーボアンプ付) MBV-LDⅡ-MP バルブ (サーボアンプ付) MEX-LD-MP |
1 | 2 |
ケーブル類 | ||
①MOT/ENC延長ケーブル_4122206 (L=3m) | 1 | 2 |
②SPTケーブル_4123400(L=0.5 / 0.15m) | 1 | 2 |
③パラレル接続ケーブル_4122306(L=3m) | 1 | 1 |
④アナログ入出力ケーブル_4123315(L=3.0m) | 1 or 2 | 2 |
⑤REMOTE I/F Fケーブル_4123337(3.0m) | 1 | 2 |
Dual Controller FPC-181S用オプション
1.ENCケーブル(負荷引出し/反負荷引出し)
バルブとサーボアンプを接続するためのケーブルです。型式 長さ(L) ENCケーブル(負荷側)2m_4123500 2m ENCケーブル(負荷側)5m_4123501 5m ENCケーブル(負荷側)10m_4123502 10m ENCケーブル(反負荷側)2m_4123505 2m ENCケーブル(反負荷側)5m_4123506 5m ENCケーブル(反負荷側)10m_4123507 10m 2.MOT電源ケーブル(負荷引出し/反負荷引出し)
バルブとサーボアンプを接続するためのケーブルです。型式 長さ(L) MOTケーブル(負荷側)2m_4123520 2m MOTケーブル(負荷側)5m_4123521 5m MOTケーブル(負荷側)10m_4123522 10m MOTケーブル(反負荷側)2m_4123525 2m MOTケーブル(反負荷側)5m_4123526 5m MOTケーブル(反負荷側)10m_4123527 10m *シールドケーブルではありません3.電磁ブレーキケーブル(負荷引出し/反負荷引出し)
電磁ブレーキ付サーボモータ用ケーブルです。型式 長さ(L) BRケーブル(負荷側)2m_4123540 2m BRケーブル(負荷側)5m_4123541 5m BRケーブル(負荷側)10m_4123542 10m BRケーブル(反負荷側)2m_4123545 2m BRケーブル(反負荷側)5m_4123546 5m BRケーブル(反負荷側)10m_4123547 10m *シールドケーブルではありません4.SPT-Mケーブル
コントローラとサーボアンプを接続するためのケーブルです。型式 長さ(L) SPT-Mケーブル_4123051(1.0/0.15m) 1.0/0.15m 5.アナログ入出力ケーブル
コントローラにアナログ入出力するためのケーブルです。(軸1、軸2を両方使用する場合は2本必要です。) ケーブルはシールド型式 長さ(L) アナログ入出力ケーブル_4123314(2m) 2m アナログ入出力ケーブル_4123315(3m) 3m アナログ入出力ケーブル_4123316(5m) 5m 切り落とし6.-1REMOTE I/F Fケーブル(フラットケーブル)
コントローラへリモート入出力するためのケーブルです。(軸1、軸2を両方使用する場合は2本必要です。)型式 長さ(L) REMOTE I/F Fケーブル_4123335(1m) 1m REMOTE I/F Fケーブル_4123336(2m) 2m REMOTE I/F Fケーブル_4123337(3m) 3m REMOTE I/F Fケーブル_4123338(4m) 4m REMOTE I/F Fケーブル_4123339(5m) 5m 切り落とし6.-2REMOTE I/Fケーブル(バラ線)
コントローラへリモート入出力するためのケーブルです。(軸1、軸2を両方使用する場合は2本必要です。)型式 長さ(L) REMOTE I/F ケーブル_4123325(1m) 1m REMOTE I/F ケーブル_4123326(2m) 2m REMOTE I/F ケーブル_4123327(3m) 3m REMOTE I/F ケーブル_4123328(4m) 4m REMOTE I/F ケーブル_4123329(5m) 5m 切り落とし
1.接続ケーブルセット(DC電源用)
バルブとDC電源ドライバを接続するためのケーブルセットです。型式 長さ(L) 接続ケーブルセット_4123821(1m) 1m 接続ケーブルセット_4123823(2m) 2m 接続ケーブルセット_4123825(3m) 3m 接続ケーブルセット_4123826(4m) 4m 接続ケーブルセット_4123827(5m) 5m 接続ケーブルセット_4123829(10m) 10m 2.接続ケーブルセット(AC電源用)
バルブとAC電源ドライバを接続するためのケーブルセットです。型式 長さ(L) 接続ケーブルセット_4123861(1m) 1m 接続ケーブルセット_4123863(2m) 2m 接続ケーブルセット_4123865(3m) 3m 接続ケーブルセット_4123866(4m) 4m 接続ケーブルセット_4123867(5m) 5m 接続ケーブルセット_4123869(10m) 10m 3.接続ケーブルセット(ブレーキ付/DC電源用)
電磁ブレーキ付モータ用ケーブルセットです。型式 長さ(L) 接続ケーブルセット_4123841(1m) 1m 接続ケーブルセット_4123843(2m) 2m 接続ケーブルセット_4123845(3m) 3m 接続ケーブルセット_4123846(4m) 4m 接続ケーブルセット_4123847(5m) 5m 接続ケーブルセット_4123849(10m) 10m 4.接続ケーブルセット(ブレーキ付/AC電源用)
電磁ブレーキ付モータ用ケーブルセットです。型式 長さ(L) 接続ケーブルセット_4123881(1m) 1m 接続ケーブルセット_4123883(2m) 2m 接続ケーブルセット_4123885(3m) 3m 接続ケーブルセット_4123886(4m) 4m 接続ケーブルセット_4123887(5m) 5m 接続ケーブルセット_4123889(10m) 10m 5.SPT-Oケーブル
コントローラとサーボアンプを接続するためのケーブルです。型式 長さ(L) SPT-Oケーブル_4123570(1.0/0.5m) 1.5m 6.アナログ入出力ケーブル
コントローラにアナログ入出力するためのケーブルです。 (軸1、軸2を両方使用する場合は2本必要です。) ケーブルはシールド型式 長さ(L) アナログ入出力ケーブル_4123314(2m) 2m アナログ入出力ケーブル_4123315(3m) 3m アナログ入出力ケーブル_4123316(5m) 5m 切り落とし7.-1 REMOTE I/F Fケーブル(フラットケーブル)
コントローラへリモート入出力するためのケーブルです。 (軸1、軸2を両方使用する場合は2本必要です。)型式 長さ(L) REMOTE I/F Fケーブル_4123335(1m) 1m REMOTE I/F Fケーブル_4123336(2m) 2m REMOTE I/F Fケーブル_4123337(3m) 3m REMOTE I/F Fケーブル_4123338(4m) 4m REMOTE I/F Fケーブル_4123339(5m) 5m 切り落とし7.ー2 REMOTE I/F ケーブル (バラ線)
コントローラへリモート入出力するためのケーブルです。 (軸1、軸2を両方使用する場合は2本必要です。)型式 長さ(L) REMOTE I/F ケーブル_4123325(1m) 1m REMOTE I/F ケーブル_4123326(2m) 2m REMOTE I/F ケーブル_4123327(3m) 3m REMOTE I/F ケーブル_4123328(4m) 4m REMOTE I/F ケーブル_4123329(5m) 5m 切り落とし
1.MOT/ENC 延長ケーブル(セット)
バルブとサーボアンプを接続するためのケーブルです。型式 長さ(L) MOT/ENC延長ケーブル_4122202(1m) 1m MOT/ENC延長ケーブル_4122204(2m) 2m MOT/ENC延長ケーブル_4122206(3m) 3m MOT/ENC延長ケーブル_4122208(4m) 4m MOT/ENC延長ケーブル_4122210(5m) 5m MOT/ENC延長ケーブル_4122218(9m) 9m MOT/ENC延長ケーブル_4122220(10m) 10m MOT/ENC延長ケーブル_4122230(15m) 15m MOT/ENC延長ケーブル_4122240(20m) 20m (MOT)モータ延長ケーブル(ENC)エンコーダ延長ケーブル2.SPTケーブル
コントローラとサーボアンプを接続するためのケーブルです。型式 長さ(L) SPTケーブル_4123400(0.5/0.15m) 0.5/0.15m 3.パラレル接続ケーブル
サーボアンプに電源を供給するためのケーブルです。型式 長さ(L) パラレル接続ケーブル_4122306(3m) 3m パラレル接続ケーブル_4122310(5m) 5m パラレル接続ケーブル_4122320(10m) 10m 4.アナログ入出力ケーブル
コントローラにアナログ入出力するためのケーブルです。(軸1、軸2を両方使用する場合は2本必要です。)型式 長さ(L) アナログ入出力ケーブル_4123314(2m) 2m アナログ入出力ケーブル_4123315(3m) 3m アナログ入出力ケーブル_4123316(5m) 5m 5.-1REMOTE I/F Fケーブル
コントローラへリモート入出力するためのケーブルです。(軸1、軸2を両方使用する場合は2本必要です。)型式 長さ(L) REMOTE I/F Fケーブル_4123335(1m) 1m REMOTE I/F Fケーブル_4123336(2m) 2m REMOTE I/F Fケーブル_4123337(3m) 3m REMOTE I/F Fケーブル_4123338(4m) 4m REMOTE I/F Fケーブル_4123339(5m) 5m 5.-2REMOTE I/F ケーブル(バラ線用)
コントローラへリモート入出力するためのケーブルです。(軸1、軸2を両方使用する場合は2本必要です。)型式 長さ(L) REMOTE I/F ケーブル_4123325(1m) 1m REMOTE I/F ケーブル_4123326(2m) 2m REMOTE I/F ケーブル_4123327(3m) 3m REMOTE I/F ケーブル_4123328(4m) 4m REMOTE I/F ケーブル_4123329(5m) 5m